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本发明涉及红外探测技术领域，尤其是涉及一种压电谐振红外传感器及其制备方法，包括衬底和自下而上依次叠加设置的多个压电谐振器，最下层压电谐振器与衬底之间、任意相邻两个压电谐振器之间均设置有空隙，且每个压电谐振器的金属电极层均与衬底连接。本发明的...
该专利属于北京吉岩智创科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京吉岩智创科技有限公司授权不得商用。

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