集成芯片封装结构制造技术

技术编号:41911580 阅读:35 留言:0更新日期:2024-07-05 14:14
本技术提供了集成芯片封装结构,包括:玻璃层,支撑边,形成于玻璃层的第一侧,支撑边的图案为若干个各自环绕一预设芯片区域的封闭图形;胶合层,覆盖于支撑边背离玻璃层的一侧;硅晶片,形成于胶合层背离支撑边的一侧,硅晶片基于封闭图形与胶合层胶合,硅晶片的区域与玻璃层的第一侧之间悬空形成间隙空间,硅晶片的第一侧设有光电二极管阵列且局部表面内嵌第一金属层,硅晶片的第二侧设有露出局部第一金属层的挖孔区域;第二金属层,形成于硅晶片的第二侧,与第一金属层电连接;焊球,与第二金属层电连接。本技术能够节省封装材料,还能实现整片晶圆封装,提升封装效率,并且有助于缩小芯片面积,提高集成化程度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片封装领域,具体地说,涉及集成芯片封装结构


技术介绍

1、目前市面上针对集成光电二极管(pd)的封装多采用olga形式(organic landgrid array,基板栅格阵列),olga芯片使用反转芯片设计,其中处理器朝下附在基体上,实现更好的信号完整性、更有效的散热和更低的自感应。olga有一个集成式导热器(ihs),能帮助散热器将热量传给正确安装的风扇散热器。olga用于奔腾4处理器,这些处理器有423针。光敏二极管,又叫光电二极管(英语:photodiode)是一种能够将光根据使用方式,转换成电流或者电压信号的光探测器。管芯常使用一个具有光敏特征的pn结,对光的变化非常敏感,具有单向导电性,而且光强不同的时候会改变电学特性,因此,可以利用光照强弱来改变电路中的电流。

2、通常,olga芯片的封装结构由基板、打线、模具注塑透明树脂封装,物料种类多,封装材料过多,制程繁琐,成本高;再经olga封装后尺寸较原芯片(die)的尺寸一般会有20-50%的增加,在现代电子产品高精密的发展趋势下,竞争力也会越来越低;还有olga封装由本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种集成芯片封装结构,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的集成芯片封装结构,其特征在于,还包括:钝化层(10),所述钝化层(10)形成于所述硅晶片(8)的第二侧与所述第二金属层(11)之间。

3.如权利要求2所述的集成芯片封装结构,其特征在于,还包括:绝缘层(12),所述绝缘层(12)形成于所述第二金属层(11)背离所述钝化层(10)的一侧,所述绝缘层(12)露出所述第二金属层(11)的局部焊盘区域。

4.如权利要求1所述的集成芯片封装结构,其特征在于,所述光电二极管阵列(7)被封装于所述硅晶片(8)和玻璃层(2)之间,由所述支撑边(3)环绕...

【技术特征摘要】

1.一种集成芯片封装结构,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的集成芯片封装结构,其特征在于,还包括:钝化层(10),所述钝化层(10)形成于所述硅晶片(8)的第二侧与所述第二金属层(11)之间。

3.如权利要求2所述的集成芯片封装结构,其特征在于,还包括:绝缘层(12),所述绝缘层(12)形成于所述第二金属层(11)背离所述钝化层(10)的一侧,所述绝缘层(12)露出所述第二金属层(11)的局部焊盘区...

【专利技术属性】
技术研发人员:史佳丽方恒葛光
申请(专利权)人:上海砺芯微电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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