电磁振镜制造技术

本发明专利技术公开了电磁振镜，包括锚定区域、活动框架、镜面以及驱动组件；驱动组件包括用于提供磁场的磁体组和位于磁场内的驱动线圈，驱动线圈与活动框架相对固定设置，驱动线圈通入电流后驱动镜面相对于锚定结构进行转动；驱动线圈包括由自粘导线根据活动框架的形状相应预绕制而成并形成多个层叠的环形线圈结构，驱动线圈的局部外侧设有限位件，限位件与多个环形线圈结构连接以限制不同环形线圈结构的自粘导线分离。通过在驱动线圈的局部设置限位件，既可以保证自粘导线之间紧密连接，又可以减小产品整体重量，避免因驱动线圈在高温以及长时间工作后产生热量使自粘导线的粘接强度降低、甚至散线失效的问题，从而提升电磁振镜的性能和工作可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学扫描，尤其涉及一种电磁振镜。

技术介绍

1、某些光学扫描系统，比如激光雷达系统，要求激光在收发时具有较大的光学口径，即要求扫描振镜的镜面尺寸大，且具有较大的扫描角度。大尺寸的mems(microelectromechanical system，微机电系统)振镜由于转动惯量大，只有在驱动力足够大的情况下才能扭转到所需的角度。相比于静电、压电、电热等驱动方式，电磁式的mems振镜具有更大的驱动力和驱动行程，更加符合上述需求。电磁式mems振镜的驱动力大小受到磁场、线圈匝数以及电流大小的影响，其中，磁场的增加必然导致磁体的体积增大，不利于产品小型化，而驱动电流的增大会使系统的功耗增加，因此，增加线圈的匝数是提升驱动力的关键技术途径。

2、目前通常是将自粘漆包线通过绕制的方式制备成线圈，然后将驱动线圈直接固定在mems振镜上，可以有效增加线圈匝数，从而提升驱动力。然而，在实际工作中，电磁式mems振镜的驱动电流相对较大，驱动线圈的工作发热较高，会导致驱动线圈在高温下自粘层变软，使其粘接强度降低，同时自粘漆包线在磁场中受到洛伦兹力的作用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电磁振镜，其特征在于，包括锚定区域、与所述锚定区域活动配合的活动框架、镜面以及驱动组件；

2.根据权利要求1所述的电磁振镜，其特征在于，所述限位件的数量为多个，多个所述限位件沿所述环形线圈结构的周向间隔分布。

3.根据权利要求2所述的电磁振镜，其特征在于，多个所述限位件分别与所述驱动线圈的不同侧连接、且所述驱动线圈的每一侧分别设有至少一个所述限位件。

4.根据权利要求3所述的电磁振镜，其特征在于，所述驱动线圈包括沿其轴向相对设置的顶面和底面、以及沿其径向相对设置的内侧面和外侧面，所述限位件包括第一限位件和第二限位件，所述顶面和所述底面设有所述第...

【技术特征摘要】

1.一种电磁振镜，其特征在于，包括锚定区域、与所述锚定区域活动配合的活动框架、镜面以及驱动组件；

2.根据权利要求1所述的电磁振镜，其特征在于，所述限位件的数量为多个，多个所述限位件沿所述环形线圈结构的周向间隔分布。

3.根据权利要求2所述的电磁振镜，其特征在于，多个所述限位件分别与所述驱动线圈的不同侧连接、且所述驱动线圈的每一侧分别设有至少一个所述限位件。

4.根据权利要求3所述的电磁振镜，其特征在于，所述驱动线圈包括沿其轴向相对设置的顶面和底面、以及沿其径向相对设置的内侧面和外侧面，所述限位件包括第一限位件和第二限位件，所述顶面和所述底面设有所述第一限位件，所述内侧面和所述外侧面设有所述第二限位件。

5.根据权利要求4所述的电磁振镜，其特征在于，所述第一限位件和所述第二限位件均为l型限位件或u型限位件；或者，所述第一限位件和所述第二限位件其中一个为l型限位件、另...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊笔锋，倪伟鉴，
申请(专利权)人：觉芯电子无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：