一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置制造方法及图纸

技术编号:41884604 阅读:37 留言:0更新日期:2024-07-02 00:42
本技术涉及一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置,涉及晶圆检测技术领域,其包括底板、设于底板一端的底座、设于底板另一端的传感器固定板、设于底座上的电机、设于电机上的晶圆固定盘、设于晶圆固定盘上的晶圆、以及设于传感器固定板上并用于检测晶圆边缘数据的传感器。本技术用于半导体制造工艺设备晶圆边缘检测传感器的性能检测,尤其适用于测试不同型号光电传感器性能,并兼容多种尺寸的晶圆,可以离线测试晶圆边缘检测传感器性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆检测,具体涉及一种用于晶圆边缘检测传感器性能离线测试的装置。


技术介绍

1、晶圆的定位与识别是晶圆搬运及整个ic制造过程中的重要环节,晶圆的定位与识别都需要预对准装置(pre-aligner)的参考。晶圆预对准的目的是计算晶圆的偏心并找到其缺口,进而补偿其偏心并将缺口转至一定方向,为下一步晶圆的识别和处理做好准备。而这些用来计算的数据需要由传感器来采集,传感器的类型和性能等级将影响数据的精度,并进一步影响计算出的晶圆偏心和缺口位置数据精度。市场上能采购到的传感器种类多样、性能不一。在预对准设备研发选型过程中需要对不同传感器的数据采集能力进行试验、分析。


技术实现思路

1、本技术的目的是:提供一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置,可在传感器集成到整机之前进行数据采集用来分析传感器的性能。

2、为了达到上述目的,本技术的技术方案提供了一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置,包括底板、设于所述底板一端的底座、设于所述底板另一端的传感器固定板、设于所述底座上的电机、设于所述电机本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置,其特征在于,包括底板(2)、设于所述底板(2)一端的底座(3)、设于所述底板(2)另一端的传感器固定板(6)、设于所述底座(3)上的电机(4)、设于所述电机(4)上的晶圆固定盘(5)、设于所述晶圆固定盘(5)上的晶圆(7)、以及设于所述传感器固定板(6)上并用于检测所述晶圆(7)边缘数据的传感器。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置,其特征在于,还包括数据采集板卡(16),所述数据采集板卡(16)与所述传感器电连接,所述数据采集板卡(16)另通过电机驱控装置(11)与所述电机(4)电连接;所述...

【技术特征摘要】

1.一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置,其特征在于,包括底板(2)、设于所述底板(2)一端的底座(3)、设于所述底板(2)另一端的传感器固定板(6)、设于所述底座(3)上的电机(4)、设于所述电机(4)上的晶圆固定盘(5)、设于所述晶圆固定盘(5)上的晶圆(7)、以及设于所述传感器固定板(6)上并用于检测所述晶圆(7)边缘数据的传感器。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置,其特征在于,还包括数据采集板卡(16),所述数据采集板卡(16)与所述传感器电连接,所述数据采集板卡(16)另通过电机驱控装置(11)与所述电机(4)电连接;所述电机(4)带动所述晶圆(7)转动,所述传感器采集所述晶圆(7)边缘的数据,所述数据采集板卡(16)在所述电机(4)驱动发送的驱动脉冲的控制下受控采集所述传感器采集到的数据。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置,其特征在于,还包括光学平台(1),所述光学平台(1)上表面均布有多个螺纹孔,所述底板(2)通过螺钉固定于所述光学平台(1)上。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐凯刘红星戴依熳姚岭
申请(专利权)人:睿励科学仪器上海有限公司
类型:新型
国别省市:

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