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本技术涉及一种用于晶圆边缘检测传感器离线数据采集的装置，涉及晶圆检测技术领域，其包括底板、设于底板一端的底座、设于底板另一端的传感器固定板、设于底座上的电机、设于电机上的晶圆固定盘、设于晶圆固定盘上的晶圆、以及设于传感器固定板上并用于检测晶...
该专利属于睿励科学仪器（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿励科学仪器（上海）有限公司授权不得商用。

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