非易失性存储器件和包括其的电子系统技术方案

技术编号:41881942 阅读:24 留言:0更新日期:2024-07-02 00:36
一种非易失性存储器件,包括:衬底;模制结构,所述模制结构包括多个栅电极以及多个模制绝缘层,其中,所述多个栅电极以阶梯形状堆叠;沟道结构,所述沟道结构延伸穿过所述模制结构;单元接触,所述单元接触延伸穿过所述模制结构,所述单元接触连接到第一栅电极,所述单元接触不电连接到所述多个栅电极之中的第二栅电极,其中,所述第一栅电极包括延伸部、垂直厚度大于所述延伸部的垂直厚度的焊盘部、和将所述焊盘部电连接到所述单元接触的连接部,所述连接部的垂直厚度小于所述焊盘部的垂直厚度;以及一个或更多个第一绝缘环,所述一个或更多个第一绝缘环位于所述连接部上。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种非易失性存储器件以及包括非易失性存储器件的电子系统,更具体地,涉及一种具有垂直沟道的非易失性存储器件以及包括非易失性存储器件的电子系统。


技术介绍

1、期望可以增加非易失性存储器件的集成度以满足消费者所期望的高性能和低价格。在非易失性存储器件的情况下,集成度是决定产品价格的因素,因此,需要增加集成度。

2、在二维或平面非易失性存储器件的情况下,集成度可以由单位存储单元(unitmemory cell)占据的面积来决定,因此,集成度会受到形成精细图案的技术水平的影响。然而,由于图案的微型化需要昂贵的设备,因此其仍然受到限制。因此,已经提出了包括三维布置的存储单元的3d非易失性存储器件。


技术实现思路

1、本公开提供了一种具有改善的性能和可靠性的非易失性存储器件。

2、本公开提供了一种具有改善的性能和可靠性的电子系统。

3、本公开要解决的技术问题并不限于上述问题,本领域技术人员根据下面的描述将清楚地理解未提及的其他问题。

4、根据本公开的一方面,一种非本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种非易失性存储器件,所述非易失性存储器件包括:

2.根据权利要求1所述的非易失性存储器件,所述非易失性存储器件还包括:

3.根据权利要求2所述的非易失性存储器件,其中,所述电介质衬垫还包括第三部分,所述第三部分位于所述第一栅电极的所述焊盘部与所述一个或更多个第一绝缘环之间,并且其中,所述电介质衬垫不平行于所述第一栅电极。

4.根据权利要求1所述的非易失性存储器件,其中:

5.根据权利要求1所述的非易失性存储器件,所述非易失性存储器件还包括:

6.根据权利要求1所述的非易失性存储器件,其中,所述连接部的垂直厚度大于或等于所述...

【技术特征摘要】

1.一种非易失性存储器件,所述非易失性存储器件包括:

2.根据权利要求1所述的非易失性存储器件,所述非易失性存储器件还包括:

3.根据权利要求2所述的非易失性存储器件,其中,所述电介质衬垫还包括第三部分,所述第三部分位于所述第一栅电极的所述焊盘部与所述一个或更多个第一绝缘环之间,并且其中,所述电介质衬垫不平行于所述第一栅电极。

4.根据权利要求1所述的非易失性存储器件,其中:

5.根据权利要求1所述的非易失性存储器件,所述非易失性存储器件还包括:

6.根据权利要求1所述的非易失性存储器件,其中,所述连接部的垂直厚度大于或等于所述延伸部的垂直厚度。

7.根据权利要求1所述的非易失性存储器件,其中,所述焊盘部的垂直厚度大于或等于所述连接部的垂直厚度的两倍。

8.根据权利要求1所述的非易失性存储器件,所述非易失性存储器件还包括:

9.一种非易失性存储器件,所述非易失性存储器件包括:

10.根据权利要求9所述的非易失性存储器件,其中,所述电介质衬垫还包括:

11.根据权利要求10所...

【专利技术属性】
技术研发人员:崔铜成金秉柱朴圆濬郑在珉千昌宪
申请(专利权)人:三星电子株式会社
类型:发明
国别省市:

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