【技术实现步骤摘要】
本申请涉及通信设备，具体而言，涉及一种滤波器及其制备方法。
技术介绍
1、薄膜体声波谐振器凭借高品质因子、低损耗、高可靠性、小型化等性能，成为搭建射频带通滤波器的关键组件之一。一般而言，带通滤波器需要两个不同频率的谐振器采用一定的拓扑结构级联而成，分别是高频串联谐振器和低频并联谐振器。由于fbar主要利用纵向声波的能量实现电能与声能的转换，因此fbar的频率主要由下电极-压电层-上电极的三明治厚度决定，fbar通过在上电极表面添加质量负载层，可以增加三明治结构层的厚度，根据声速-波长-频率的关系公式，可以计算得到相应的频率。目前制备fbar质量负载层的技术方案主要是刻蚀技术，首先沉积质量负载层材料，随后采用刻蚀技术对薄膜材料进行图案化。
2、目前，基于fbar设计的滤波器不仅包含两个频率，对于复杂的滤波器而言，针对某些频段需要额外的抑制度，因此需要三个甚至三个以上的频率，这就需要通过多次沉积并图案化质量负载层来实现。在每次刻蚀时，以检测到下层材料为刻蚀停止时间，意味着每次刻蚀都会过刻，即在对质量负载层进行刻蚀时，会造成了对压...
【技术保护点】
1.一种滤波器的制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的滤波器的制备方法，其特征在于，所述在衬底上形成多个连接的谐振单元并在多个所述谐振单元上形成质量负载层包括：
3.根据权利要求2所述的滤波器的制备方法，其特征在于，在所述衬底上形成多个连接的谐振单元之前，所述制备方法还包括：
4.一种滤波器的制备方法，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的滤波器的制备方法，其特征在于，所述采用剥离工艺在部分所述谐振单元上形成具有第三预设厚度的质量负载包括：
6.根据权利要求1或4所述的滤波器的制备方法，...
【技术特征摘要】
1.一种滤波器的制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的滤波器的制备方法，其特征在于，所述在衬底上形成多个连接的谐振单元并在多个所述谐振单元上形成质量负载层包括：
3.根据权利要求2所述的滤波器的制备方法，其特征在于，在所述衬底上形成多个连接的谐振单元之前，所述制备方法还包括：
4.一种滤波器的制备方法，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的滤波器的制备方法，其特征在于，所述采用剥离工艺在部分所述谐振单元上形成具有第三预设厚度的质量负载包括：
6.根据权利要求1或4所述的滤波器的制备方法，其特征在于，所述在衬底上形成多个连接的谐振单元包括：
7.根据权利要求6所述的滤波器的制备方法，其特征在于，所述在所述底电极上形成压电层，所述压电层覆盖所述底电极之后，所述制备方法还包括：
8....
【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，皮本松，陈邦涛，萧莉燕，孙成亮，孙博文，
申请(专利权)人：武汉敏声新技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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