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本申请公开了一种滤波器及其制备方法，涉及通信设备技术领域，本申请的滤波器的制备方法，包括在衬底上形成多个连接的谐振单元并在多个谐振单元上形成质量负载层；向下以第一预设厚度刻蚀部分谐振单元上的质量负载层，以将谐振单元划分为刻蚀第一预设厚度的第...
该专利属于武汉敏声新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉敏声新技术有限公司授权不得商用。

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