【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体及太阳能电池制造领域，具体涉及一种上下料装置和运输装置。
技术介绍
1、在半导体和太阳能电池制造过程中，比如扩散设备、氧化设备、退火设备以及镀膜设备等，都需要通过搬舟机构对舟进行运输，以实现将舟放置于桨上。桨将舟运输至设备内，设备对舟上承载的待加工材料进行工艺加工。
2、现有将舟运输到桨的运输方式为机械手承载舟托，舟托承载舟，机械手运输舟托以将舟放置于桨上。由于企业产能需求，设备需要配置多个舟托。每个舟托承载多个舟，机械手承载舟托以实现对多个舟以及舟上的待加工材料进行运输。因此，需要制作大体积的舟托，以承载多个舟。舟托采用石英材质，且体积大，导致舟托的制作成本高，加工难度大；并且，为了减少机械手的负载，舟托的质量要轻，舟托结构单薄，导致舟托的损坏率高，大大增加了上下料装置的制作和维护成本。
技术实现思路
1、有鉴于此，本公开实施例提供了一种上下料装置和运输装置，解决了由于现有舟托体积大和结构单薄，导致舟托制作成本高且损坏率高，进而导致上下料装置的制作和维护成本高
【技术保护点】
1.一种上下料装置，其特征在于，被配置为抓取舟结构，并将所述舟结构放置于桨上；
2.根据权利要求1所述的上下料装置，其特征在于，所述多自由度驱动结构包括：
3.根据权利要求2所述的上下料装置，其特征在于，所述水平移动结构包括：
4.根据权利要求3所述的上下料装置，其特征在于，所述水平移动结构还包括：
5.根据权利要求4所述的上下料装置，其特征在于，在所述水平移动结构还包括：第一滑轨和第一滑块，且多自由度驱动结构还包括：第一导向轴和第一导向块的情况下，所述水平移动结构还包括：
6.根据权利要求1至5任一项所述的...
【技术特征摘要】
1.一种上下料装置，其特征在于，被配置为抓取舟结构，并将所述舟结构放置于桨上；
2.根据权利要求1所述的上下料装置，其特征在于，所述多自由度驱动结构包括：
3.根据权利要求2所述的上下料装置，其特征在于，所述水平移动结构包括：
4.根据权利要求3所述的上下料装置，其特征在于，所述水平移动结构还包括：
5.根据权利要求4所述的上下料装置，其特征在于，在所述水平移动结构还包括：第一滑轨和第一滑块，且多自由度驱动结构还包括：第一导...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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