【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及坩埚检测,尤其是涉及一种坩埚目检套袋设备。
技术介绍
1、石英坩埚是半导体技术、光纤通讯、特种光源、航空航天及国防军工等高新
的重要性器皿材料,低铝、低硼、低碱石英坩埚则更是如此,生产单晶硅必须使用高纯低铝石英坩埚;在石英坩埚生产过程中,检测工作是一个十分重要的环节,其主要目的是及时发现生产过程中石英坩埚的部分缺陷,并相应的做出合格、修补及报废的判断,避免有缺陷的坩埚流入后序流程,防止造成资源成本的浪费,同时随着石英坩埚向大型化发展,石英坩埚的体积越来越大,重量也越来越重,人工搬运石英坩埚容易造成坩埚破损或污染,致使高品质的坩埚更难生产。
2、本申请人发现现有技术至少存在以下技术问题:
3、1、大型化坩埚人工检查费时费力,且人工搬运翻转检查过程中容易造成坩埚破损或污染,使得难以生产出高品质坩埚;
4、2、人工检查后,坩埚在进行套袋工序过程中亦容易造成坩埚破损或污染。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种坩埚目检套袋设备,以解
...【技术保护点】
1.一种坩埚目检套袋设备,其特征在于:包括抱爪机构(1)、输送机构(2)、升降机构(3)、底座(4)、翻转抱爪(6)及抱爪开闭机构(7),其中,
2.根据权利要求1所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述输送机构(2)包含机架(203),所述机架(203)上安装有主动滚筒(201)及从动滚筒(202),所述主动滚筒(201)及所述从动滚筒(202)之间连接有皮带(204)、所述主动滚筒(201)连接输送电机(205),所述皮带(204)位于所述翻转抱爪(6)正下方。
3.根据权利要求2所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述输送机构(2)还包含
...【技术特征摘要】
1.一种坩埚目检套袋设备,其特征在于:包括抱爪机构(1)、输送机构(2)、升降机构(3)、底座(4)、翻转抱爪(6)及抱爪开闭机构(7),其中,
2.根据权利要求1所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述输送机构(2)包含机架(203),所述机架(203)上安装有主动滚筒(201)及从动滚筒(202),所述主动滚筒(201)及所述从动滚筒(202)之间连接有皮带(204)、所述主动滚筒(201)连接输送电机(205),所述皮带(204)位于所述翻转抱爪(6)正下方。
3.根据权利要求2所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述输送机构(2)还包含反射传感器(206),沿所述输送机构(2)输送方向上,所述反射传感器(206)成对安装在所述输送机构(2)的机架(203)两侧。
4.根据权利要求3所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述输送机构(2)还包含触摸屏(207)。
5.根据权利要求1所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述升降机构(3)包含框架(310),所述框架(310)上安装有升降电机(301)、主动轴(302)及从动轴(303),所述升降电机(301)与所述主动轴(302)固定连接,所述主动轴(302)与所述从动轴(303)上固...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈桂东,刘贵枝,
申请(专利权)人:天津必利优科技发展有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。