一种坩埚目检套袋设备制造技术

技术编号:41871712 阅读:24 留言:0更新日期:2024-07-02 00:22
本发明专利技术提供了一种坩埚目检套袋设备,涉及坩埚检测技术领域,以解决现有技术中存在的人工搬运翻转检查过程中容易造成坩埚破损或污染的技术问题,该装置包括输送机构位于升降机构的升降端前方,升降端连接有抱爪机构,抱爪机构包含翻转抱爪及与翻转抱爪连接的抱爪开闭机构,输送机构位于翻转抱爪下方,升降机构连接有底座,本发明专利技术有效避免了人工搬运翻转检查坩埚过程中造成的坩埚破损或污染问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及坩埚检测,尤其是涉及一种坩埚目检套袋设备


技术介绍

1、石英坩埚是半导体技术、光纤通讯、特种光源、航空航天及国防军工等高新
的重要性器皿材料,低铝、低硼、低碱石英坩埚则更是如此,生产单晶硅必须使用高纯低铝石英坩埚;在石英坩埚生产过程中,检测工作是一个十分重要的环节,其主要目的是及时发现生产过程中石英坩埚的部分缺陷,并相应的做出合格、修补及报废的判断,避免有缺陷的坩埚流入后序流程,防止造成资源成本的浪费,同时随着石英坩埚向大型化发展,石英坩埚的体积越来越大,重量也越来越重,人工搬运石英坩埚容易造成坩埚破损或污染,致使高品质的坩埚更难生产。

2、本申请人发现现有技术至少存在以下技术问题:

3、1、大型化坩埚人工检查费时费力,且人工搬运翻转检查过程中容易造成坩埚破损或污染,使得难以生产出高品质坩埚;

4、2、人工检查后,坩埚在进行套袋工序过程中亦容易造成坩埚破损或污染。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种坩埚目检套袋设备,以解决现有技术中存在的人本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种坩埚目检套袋设备,其特征在于:包括抱爪机构(1)、输送机构(2)、升降机构(3)、底座(4)、翻转抱爪(6)及抱爪开闭机构(7),其中,

2.根据权利要求1所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述输送机构(2)包含机架(203),所述机架(203)上安装有主动滚筒(201)及从动滚筒(202),所述主动滚筒(201)及所述从动滚筒(202)之间连接有皮带(204)、所述主动滚筒(201)连接输送电机(205),所述皮带(204)位于所述翻转抱爪(6)正下方。

3.根据权利要求2所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述输送机构(2)还包含反射传感器(206)...

【技术特征摘要】

1.一种坩埚目检套袋设备,其特征在于:包括抱爪机构(1)、输送机构(2)、升降机构(3)、底座(4)、翻转抱爪(6)及抱爪开闭机构(7),其中,

2.根据权利要求1所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述输送机构(2)包含机架(203),所述机架(203)上安装有主动滚筒(201)及从动滚筒(202),所述主动滚筒(201)及所述从动滚筒(202)之间连接有皮带(204)、所述主动滚筒(201)连接输送电机(205),所述皮带(204)位于所述翻转抱爪(6)正下方。

3.根据权利要求2所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述输送机构(2)还包含反射传感器(206),沿所述输送机构(2)输送方向上,所述反射传感器(206)成对安装在所述输送机构(2)的机架(203)两侧。

4.根据权利要求3所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述输送机构(2)还包含触摸屏(207)。

5.根据权利要求1所述的坩埚目检套袋设备,其特征在于:所述升降机构(3)包含框架(310),所述框架(310)上安装有升降电机(301)、主动轴(302)及从动轴(303),所述升降电机(301)与所述主动轴(302)固定连接,所述主动轴(302)与所述从动轴(303)上固...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈桂东刘贵枝
申请(专利权)人:天津必利优科技发展有限公司
类型:发明
国别省市:

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