一种基于激光光斑形位的光路检测系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种基于激光光斑形位的光路检测系统及方法，属于激光设备技术领域。光路检测系统包括：反射元件、偏振镜、加热定位柱和检测单元；反射元件内嵌于激光设备壁中，根据射入的激光形成光斑和杂散激光，光斑辐射热红外线；加热定位柱包括多个，设置于反射元件的圆周上，加热辐射热红外线；偏振镜的镜面设置预设偏转角度，偏振镜的偏振方向与激光的偏振方向垂直，全反射杂散激光，透射热红外线；采样子单元内嵌于激光设备壁中，接收热红外线生成温度图像，并根据温度图像中的光斑图像的形位状态确定光路的传输状态是否正常。在光路封闭状态下进行光路检测，维持管内工作状态，提高了检测的精确度和效率，并可在激光设备工作中实时在线监测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光设备，更具体地，涉及一种基于激光光斑形位的光路检测系统及方法。

技术介绍

1、目前，高功率激光在半导体生产、工业加工领域均有着大量的运用。在mopa(主振荡功率放大)型激光器中由于激光种子源的功率通常较低，需要搭配较长的放大链路实现功率放大，以获得满足需求的输出功率。为缩小激光器的体积，通常在激光器内搭建有多次反射的封闭光路；而在气体激光放大器内还需要在真空状态下充入工作气体，安装拆卸工作更加繁复。

2、在对激光光路进行校准时，主要是通过调节反射镜来实现光路的微调。而封闭光路的长度大多可达几米乃至几十米，在激光器内产生极为复杂的反射，因此需要分段调节。传统的调节方法需要拆卸下各段用于封闭光路的管道，在下一段的入口处通过观察生成的光斑进行光束校正，以确保从光程起点处至输出口各段光路的独立稳定。

3、整个过程十分复杂，而这其中对管道的拆卸占用了绝大多数的人力和时间。同时，多次拆卸管道容易造成接口处的密封性降低，还会降低管道的使用寿命，而拆卸过程中的机体挤压和碰撞也会影响设备内反射镜的形位，这很容易出现在后段检测和校正过本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于激光光斑形位的光路检测系统，其特征在于，包括：反射元件、偏振镜、加热定位柱和检测单元

2.如权利要求1所述的光路检测系统，其特征在于，所述检测单元包括依次连接的热电堆阵列、信号处理器、光电转换器和监视系统；

3.如权利要求2所述的光路检测系统，其特征在于，所述热电堆阵列与所述反射元件平行正对。

4.如权利要求2所述的光路检测系统，其特征在于，所述偏振镜的镜面面积大于所述热电堆阵列的采样范围。

5.如权利要求1所述的光路检测系统，其特征在于，所述加热定位柱的数量大于等于三枚；

6.如权利要求5所述的光路检测系统，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种基于激光光斑形位的光路检测系统，其特征在于，包括：反射元件、偏振镜、加热定位柱和检测单元

2.如权利要求1所述的光路检测系统，其特征在于，所述检测单元包括依次连接的热电堆阵列、信号处理器、光电转换器和监视系统；

3.如权利要求2所述的光路检测系统，其特征在于，所述热电堆阵列与所述反射元件平行正对。

4.如权利要求2所述的光路检测系统，其特征在于，所述偏振镜的镜面面积大于所述热电堆...

【专利技术属性】
技术研发人员：李波，林高洁，游聪，黄维，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：