一种基于内部网络的半导体生产追踪系统技术方案

技术编号:41801285 阅读:15 留言:0更新日期:2024-06-24 20:23
本发明专利技术涉及一种基于内部网络的半导体生产追踪系统,涉及半导体生产技术领域,包括MES模块、封装模块和存储模块,封装模块和MES模块的数据输出端连接,存储模块和封装模块的数据输出端连接。本申请通过采用MES模块实现半导体生产过程中的信息获取功能,随后利用封装模块对各个工序中的若干个信息进行检验后封装成存储块,并将该存储块存储在存储云端中,此时MES模块中的浮动的数据信息数量大大减小,将数据封装成存储块也能够保证数据的安全,避免数据被轻易更改,减少了内部网络的负载,保证了内部网络工作较为稳定,从而能够保证了半导体的安全生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生产,具体为一种基于内部网络的半导体生产追踪系统


技术介绍

1、半导体生产系统是用于半导体芯片制造的一系列设备和工艺,半导体芯片是电子产品中的核心组件,包括集成电路、处理器、存储器等,在对半导体进行生产时,通过包括以下几个关键环节和设备,包括有晶圆制备、晶圆清洗、薄膜沉积、光刻、清洗和刻蚀、掺杂和离子注入、金属蒸馏、焊接封装等过程,半导体生产系统的每个环节都是精密而复杂的,需要严格的工艺控制和高精度的设备,以保证芯片质量和性能的稳定和可靠。

2、例如在申请号为201520265847.2的专利文件中,公开了一种半导体封装产品个体生产信息追踪系统,并具体公开了通过将半导体封装过程中涉及的信息通过个体id及坐标匹配传送给显示屏并进行记录,可以实现后期的可追溯性。

3、在上述技术方案中,由于半导体生产过程中需要利用生产内部网络,内部网络所能够提供的程序和内存具有局限性,当将生产过程中所有关于半导体芯片生产的信息进行记录时,会导致内部网络的负载变大,此时内部网络的稳定性受到干扰,影响半导体的安全生产


本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于内部网络的半导体生产追踪系统,其特征在于:包括MES模块、封装模块和存储模块,所述封装模块和MES模块的数据输出端连接,所述存储模块和封装模块的数据输出端连接;

2.根据权利要求1所述的一种基于内部网络的半导体生产追踪系统,其特征在于,还包括有标记模块,所述标记模块用于对半导体进行标记处理,获取产品的状态信息和编号,分配该半导体对应数据内容一个存储符,所述存储符用于封装模块对该半导体信息分配存储空间。

3.根据权利要求1所述的一种基于内部网络的半导体生产追踪系统,其特征在于,还包括有追溯模块,所述追溯模块用于根据产品的状态信息对产品的数据内容进行追溯,...

【技术特征摘要】

1.一种基于内部网络的半导体生产追踪系统,其特征在于:包括mes模块、封装模块和存储模块,所述封装模块和mes模块的数据输出端连接,所述存储模块和封装模块的数据输出端连接;

2.根据权利要求1所述的一种基于内部网络的半导体生产追踪系统,其特征在于,还包括有标记模块,所述标记模块用于对半导体进行标记处理,获取产品的状态信息和编号,分配该半导体对应数据内容一个存储符,所述存储符用于封装模块对该半导体信息分配存储空间。

3.根据权利要求1所述的一种基于内部网络的半导体生产追踪系统,其特征在于,还包括有追溯模块,所述追溯模块用于根据产品的状态信息对产品的数据内容进行追溯,判断产品出现问题的工序。

4.根据权利要求2所述的一种基于内部网络的半导体生产追踪系统,其特征在于,所述存储模块基于内部网络设置的存储云端,所述存储模块获取来自封装模块的存储符序列,将该存储符序列进行记录,并将存储符序列反馈到mes模块中记录。

5.根据权利要求3所述的一种基于内部网络的...

【专利技术属性】
技术研发人员:石莉莎张霞
申请(专利权)人:合肥海滨半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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