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本发明涉及一种基于内部网络的半导体生产追踪系统,涉及半导体生产技术领域,包括MES模块、封装模块和存储模块,封装模块和MES模块的数据输出端连接,存储模块和封装模块的数据输出端连接。本申请通过采用MES模块实现半导体生产过程中的信息获取功能...该专利属于合肥海滨半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥海滨半导体科技有限公司授权不得商用。
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