一种耐高温石英舟制造技术

本技术是一种耐高温石英舟，包括半圆柱的石英舟体，石英舟体内呈半圆柱状的容置腔室，石英舟体两端设有与石英舟体一体成型的半圆端板，石英舟的容置腔室内设有沿舟体长度方向依次平行设置的若干个分隔体，石英舟的槽口内壁上设有与每个分隔体一一对应的联接块，每个联接块与对应的分隔体一端铰接，分隔体可沿铰接点旋转到容置空间外部；石英舟体及内部部件均耐高温，且为纯度高的材料，石英舟既可以承载硅片，又可以承载硅棒，能根据承载需求量的多少去调整半环隔板的数量，且扩散均匀，装载不稳定，使用方便，能大规模通用使用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英制品，具体为一种耐高温石英舟。

技术介绍

1、在硅片或者硅棒的高温扩散处理工艺中，需要耐高温，纯度高的材料，石英舟作为硅片或者硅棒的载体，在大规模生产过程中，炉扩散硅片的数量过少，而且容易造成扩散不均匀，装载不稳定的问题，而且同一规格的载体不能用来承载硅棒，使用不方便，不能大规模通用使用。

技术实现思路

1、本技术目的是提供一种耐高温石英舟，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术具有耐高温，耐腐蚀，承载量大，使用通用性强的优点。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种耐高温石英舟，包括半圆柱的石英舟体，石英舟体内呈半圆柱状的容置腔室，石英舟体两端设有与石英舟体一体成型的半圆端板，石英舟的容置腔室内设有沿舟体长度方向依次平行设置的若干个分隔体，石英舟的槽口内壁上设有与每个分隔体一一对应的联接块，每个联接块与对应的分隔体一端铰接，分隔体可沿铰接点旋转到容置空间外部；

3、石英舟体中硅含量为99.99％以上的高纯度硅材料，且耐高温在1400℃以上。

4、作本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种耐高温石英舟，其特征在于：包括半圆柱的石英舟体(1)，石英舟体内呈半圆柱状的容置腔室，石英舟体两端设有与石英舟体一体成型的半圆端板(2)，石英舟的容置腔室内设有沿舟体长度方向依次平行设置的若干个分隔体(4)，石英舟的槽口内壁上设有与每个分隔体一一对应的联接块(5)，每个联接块与对应的分隔体一端铰接，分隔体可沿铰接点旋转到容置空间外部；

2.根据权利要求1所述的耐高温石英舟，其特征在于：所述分隔体(4)为半环型的分隔半环，分隔半环的外径与石英舟体的内径间隙配合，分隔半环靠近联接块一端设有第一铰接孔，对应的联接块上设有第二铰接孔，第一铰接孔与第一铰接孔之间通过铰接轴相连。...

【技术特征摘要】

1.一种耐高温石英舟，其特征在于：包括半圆柱的石英舟体(1)，石英舟体内呈半圆柱状的容置腔室，石英舟体两端设有与石英舟体一体成型的半圆端板(2)，石英舟的容置腔室内设有沿舟体长度方向依次平行设置的若干个分隔体(4)，石英舟的槽口内壁上设有与每个分隔体一一对应的联接块(5)，每个联接块与对应的分隔体一端铰接，分隔体可沿铰接点旋转到容置空间外部；

2.根据权利要求1所述的耐高温石英舟，其特征在于：所述分隔体(4)为半环型的分隔半环，分隔半环的外径与石英舟体的内径间隙配合，分隔半环靠近联接块一端设有第一铰接孔，对应的联接块上设有第二铰接孔，第一铰接孔与第一铰接孔之间通过铰接轴相连。

3.根据权利要求2所述的耐高温石英...

【专利技术属性】
技术研发人员：李增祥，李增兵，
申请(专利权)人：江苏鸣熙石英制品有限公司，
类型：新型
国别省市：