一种便于维护的光刻机制造技术

技术编号：41798527 阅读：23 留言：0更新日期：2024-06-24 20:21

本技术涉及光刻机技术领域，且公开了一种便于维护的光刻机，该光刻机，通过固定组建利用插杆和插槽等组件可以完成对柜门的固定，方便打开柜门对光刻机本体内部的精密组件进行维护和检修。相比于现有装置在使用的时候可以直接进行操作不需要借助于工具，并且可以对两个柜门同时进行固定减小了工作量，操作更加简单。该光刻机，通过利用滑槽和滑块的设置可以在转动转钮的时候清楚移动板的移动位置，从而明白插杆与插槽是否固定。磁吸块一和磁吸块二的设置可以使得在柜门与光刻机本体关闭之后，柜门上的插槽与插杆可以对其，从而更加方便对其固定。把手的设计可以方便开关柜门。

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光刻机，具体为一种便于维护的光刻机。

技术介绍

1、光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序光刻的意思是用光来制作一个图形(工艺)；在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，因此光刻机的价格昂贵，且内部电子元件非常精密和脆弱，需要经常进行维护。

2、中国技术公开说明书cn212207963u一种便于维护的光刻机，设计了一种便于拆卸的柜门的光刻机，方便对内部的精细组件进行定时的维护和检修其原理就是将柜门关上之后，利用扳手转动转动块，使得转动块带动螺纹杆一起转动，同时使得螺纹套在螺纹杆上移动同时带动上下两个挤压块，使得挤压块对受压块进行挤压，使得受压块推动卡块插入卡槽内部将柜门固定在光刻机上面，拆卸时反向转动即可。

3、但是现有装置再进行拆...

【技术保护点】

1.一种便于维护的光刻机，包括：

2.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述移动板（28）的外侧壁与所述固定块（13）的内侧壁贴合。

3.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述固定组件（2）还包括：

4.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述固定组件（2）还包括：

5.根据权利要求1所述的一种便于维护的光刻机，其特征在于：所述固定块（13）的外侧壁对称开设有滑槽（31），所述移动板（28）的顶部均设置有滑块（32），并在所述固定块（13）的内部滑动。