温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及光刻机技术领域，且公开了一种便于维护的光刻机，该光刻机，通过固定组建利用插杆和插槽等组件可以完成对柜门的固定，方便打开柜门对光刻机本体内部的精密组件进行维护和检修。相比于现有装置在使用的时候可以直接进行操作不需要借助于工具，并且可...
该专利属于美可隆半导体（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美可隆半导体（苏州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。