【技术实现步骤摘要】
本技术涉及直拉单晶炉，具体涉及一种用于单晶炉的水冷屏及单晶炉。
技术介绍
1、直拉单晶炉是多晶硅转化为单晶硅过程中的重要设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础材料。目前在直拉单晶硅棒生产中为提高产量，通常在单晶炉中增设水冷屏，水冷屏外挂导流筒，以加速硅单晶散热，提高单晶生长速度，水冷屏越接近硅液面，结晶界面的晶体散热越快，单晶硅生长速度也就越快。同时，为提升产能控制生产成本，通常采用复投料技术实现一炉多棒效果。
2、然而，在复投工序过程中，原料中的硅粉容易发生漂浮，硅粉容易贴敷在离液面较近的水冷屏内表面，硅粉高温时会变成颗粒硅点，并且，熔料过程中熔硅也容易溅在水冷屏内表面。由于水冷屏的内表面较为光滑，当进入单晶生长工序时，硅点受热或炉内氩气吹拂容易掉落到单晶硅晶体生长液面上，导致单晶断线生长失败。另外，随着单晶生长周期的不断延长，单晶炉中的水冷屏内表面的硅点会不断累积增加，导致水冷屏对单晶生长过程中的冷却效果不断降低，对单晶生产过程的稳定性造成影响。
3、目前常规操作是加大氩气流量，对水冷屏内表面硅点进行...
【技术保护点】
1.一种用于单晶炉的水冷屏，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的水冷屏，其特征在于，所述驱动装置包括：
3.根据权利要求2所述的用于单晶炉的水冷屏，其特征在于，所述清洁杆包括多个，多个所述清洁杆沿所述齿圈的周向均匀地间隔开分布。
4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的水冷屏，其特征在于，所述水冷屏主体的顶部设有齿圈护罩，所述齿圈护罩的横截面形成为环形卡槽，所述齿圈卡设在所述环形卡槽内。
5.根据权利要求4所述的用于单晶炉的水冷屏，其特征在于，所述齿圈为外齿齿圈，所述齿轮啮合在所述齿圈的外侧，所述齿轮外设...
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的水冷屏，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的水冷屏，其特征在于，所述驱动装置包括：
3.根据权利要求2所述的用于单晶炉的水冷屏，其特征在于，所述清洁杆包括多个，多个所述清洁杆沿所述齿圈的周向均匀地间隔开分布。
4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的水冷屏，其特征在于，所述水冷屏主体的顶部设有齿圈护罩，所述齿圈护罩的横截面形成为环形卡槽，所述齿圈卡设在所述环形卡槽内。
5.根据权利要求4所述的用于单晶炉的水冷屏，其特征在于，所述齿圈为外齿齿圈，所述齿轮啮合在所述齿圈的外侧，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王甫朝，宋克冉，杨超，
申请(专利权)人：曲靖晶澳光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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