【技术实现步骤摘要】
本技术涉及净化设备,具体涉及一种电子级氢氟酸的取样净化设备。
技术介绍
1、电子级氢氟酸是一种高度纯净的氢氟酸溶液,主要用于半导体制造过程中的清洗和刻蚀,由于其具有高度的腐蚀性和毒性,因此需要严格的安全措施和操作规程,电子级氢氟酸是一种重要的工业化学品,对于推动半导体行业的发展起着至关重要的,作用光伏产业中单晶硅原料清洗、硅片刻蚀、抛光等过程都需要用到氢氟酸,会产生大量的含氢氟酸废水,氢氟酸具有ph值低、腐蚀性强、氧化性强且电导率高的特点,直接排放会对环境造成重大污染,目前针对含氢氟酸废水的处理工艺主要采用沉淀法,即向含氢氟酸废水中投加熟石灰、氯化钙及混凝剂等药剂使氟离子与钙离子生成氟化钙,来达到去除氟的目的。
2、在氢氟酸回收时,需要对氢氟酸精馏操作,在精馏过程中需要对氢氟酸进行多次取样,以便更好的调整工艺参数,在取样时,采用敞口的取样瓶直接取样,从而存在氢氟酸洒漏的情况,取样完成后残留的氢氟酸直接暴露在空气中,从而氢氟酸受热挥发,导致检测人员吸入氢氟酸,造成身体受损,为此提出一种电子级氢氟酸的取样净化设备。
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【技术保护点】
1.一种电子级氢氟酸的取样净化设备,其特征在于,包括固定箱(1),所述固定箱(1)上分别设有用于对气体进行净化的净化组件(2)、用于对气流进行控制的密封组件(3)和用于进行位置改变的伸缩组件(4),所述伸缩组件(4)上设置有用于对液体进行密封的连接组件(6),所述连接组件(6)包括连接柱(601),所述连接柱(601)一端设有转动柱(604),所述连接柱(601)外侧分别开设有环形槽(603)和多个滑动槽(602),所述连接柱(601)外侧设有第二弹簧(605),所述连接柱(601)底部设有转动板(606),所述连接组件(6)上设置有用于控制密封的控制组件(5)和用对
...【技术特征摘要】
1.一种电子级氢氟酸的取样净化设备,其特征在于,包括固定箱(1),所述固定箱(1)上分别设有用于对气体进行净化的净化组件(2)、用于对气流进行控制的密封组件(3)和用于进行位置改变的伸缩组件(4),所述伸缩组件(4)上设置有用于对液体进行密封的连接组件(6),所述连接组件(6)包括连接柱(601),所述连接柱(601)一端设有转动柱(604),所述连接柱(601)外侧分别开设有环形槽(603)和多个滑动槽(602),所述连接柱(601)外侧设有第二弹簧(605),所述连接柱(601)底部设有转动板(606),所述连接组件(6)上设置有用于控制密封的控制组件(5)和用对液体进行遮盖的密封件(7)。
2.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的取样净化设备,其特征在于,所述固定箱(1)内部设有固定台(101),所述固定台(101)顶部设有固定管(102),所述固定箱(1)外侧开设有多个进气孔。
3.根据权利要求2所述的一种电子级氢氟酸的取样净化设备,其特征在于,所述净化组件(2)包括过滤箱(201),所述过滤箱(201)与固定箱(1)相连接,所述过滤箱(201)外侧均设有连接管(202),且连接管(202)与固定箱(1)相连通。
4.根据权利要求2所述的一种电子级氢氟酸的取样净化设备,其特征在于,所述伸缩组件(4)包括伸缩杆(401),所述伸缩杆(401)伸缩端设有固定块(402),所述固定块(402)内部开设有引导管(403),所述固定块(402)顶部设有进料管(405),且进料管(405)与引导管(403)相对应,所述固定块(402)底部设有固定垫(404),所述伸缩杆(401)外侧设有支撑块(406)。
【专利技术属性】
技术研发人员:钱志刚,刘顺江,吕灵娟,冯文秀,邹允耕,
申请(专利权)人:深圳市超纯环保股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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