一种电子级氢氟酸的取样净化设备制造技术

技术编号:41780555 阅读:21 留言:0更新日期:2024-06-21 21:56
本技术公开了一种电子级氢氟酸的取样净化设备,涉及净化设备技术领域。包括固定箱,所述固定箱上分别设有用于对气体进行净化的净化组件、用于对气流进行控制的密封组件和用于进行位置改变的伸缩组件,所述伸缩组件上设置有用于对液体进行密封的连接组件,所述连接组件包括连接柱,所述连接柱一端设有转动柱,所述连接柱外侧分别开设有环形槽和多个滑动槽。本技术通过控制组件、连接组件和密封件的配合,实现了通过L形杆、连接块、固定板、连接柱和密封件的配合,从而对引导管内部残留的氢氟酸进行密封,同时通过固定块、引导管和伸缩杆的配合,从而对液体进行封闭取样,避免在取样时氢氟酸撒漏和挥发,对检测人员造成身体受损。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及净化设备,具体涉及一种电子级氢氟酸的取样净化设备


技术介绍

1、电子级氢氟酸是一种高度纯净的氢氟酸溶液,主要用于半导体制造过程中的清洗和刻蚀,由于其具有高度的腐蚀性和毒性,因此需要严格的安全措施和操作规程,电子级氢氟酸是一种重要的工业化学品,对于推动半导体行业的发展起着至关重要的,作用光伏产业中单晶硅原料清洗、硅片刻蚀、抛光等过程都需要用到氢氟酸,会产生大量的含氢氟酸废水,氢氟酸具有ph值低、腐蚀性强、氧化性强且电导率高的特点,直接排放会对环境造成重大污染,目前针对含氢氟酸废水的处理工艺主要采用沉淀法,即向含氢氟酸废水中投加熟石灰、氯化钙及混凝剂等药剂使氟离子与钙离子生成氟化钙,来达到去除氟的目的。

2、在氢氟酸回收时,需要对氢氟酸精馏操作,在精馏过程中需要对氢氟酸进行多次取样,以便更好的调整工艺参数,在取样时,采用敞口的取样瓶直接取样,从而存在氢氟酸洒漏的情况,取样完成后残留的氢氟酸直接暴露在空气中,从而氢氟酸受热挥发,导致检测人员吸入氢氟酸,造成身体受损,为此提出一种电子级氢氟酸的取样净化设备。

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技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子级氢氟酸的取样净化设备,其特征在于,包括固定箱(1),所述固定箱(1)上分别设有用于对气体进行净化的净化组件(2)、用于对气流进行控制的密封组件(3)和用于进行位置改变的伸缩组件(4),所述伸缩组件(4)上设置有用于对液体进行密封的连接组件(6),所述连接组件(6)包括连接柱(601),所述连接柱(601)一端设有转动柱(604),所述连接柱(601)外侧分别开设有环形槽(603)和多个滑动槽(602),所述连接柱(601)外侧设有第二弹簧(605),所述连接柱(601)底部设有转动板(606),所述连接组件(6)上设置有用于控制密封的控制组件(5)和用对液体进行遮盖的密封件...

【技术特征摘要】

1.一种电子级氢氟酸的取样净化设备,其特征在于,包括固定箱(1),所述固定箱(1)上分别设有用于对气体进行净化的净化组件(2)、用于对气流进行控制的密封组件(3)和用于进行位置改变的伸缩组件(4),所述伸缩组件(4)上设置有用于对液体进行密封的连接组件(6),所述连接组件(6)包括连接柱(601),所述连接柱(601)一端设有转动柱(604),所述连接柱(601)外侧分别开设有环形槽(603)和多个滑动槽(602),所述连接柱(601)外侧设有第二弹簧(605),所述连接柱(601)底部设有转动板(606),所述连接组件(6)上设置有用于控制密封的控制组件(5)和用对液体进行遮盖的密封件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的取样净化设备,其特征在于,所述固定箱(1)内部设有固定台(101),所述固定台(101)顶部设有固定管(102),所述固定箱(1)外侧开设有多个进气孔。

3.根据权利要求2所述的一种电子级氢氟酸的取样净化设备,其特征在于,所述净化组件(2)包括过滤箱(201),所述过滤箱(201)与固定箱(1)相连接,所述过滤箱(201)外侧均设有连接管(202),且连接管(202)与固定箱(1)相连通。

4.根据权利要求2所述的一种电子级氢氟酸的取样净化设备,其特征在于,所述伸缩组件(4)包括伸缩杆(401),所述伸缩杆(401)伸缩端设有固定块(402),所述固定块(402)内部开设有引导管(403),所述固定块(402)顶部设有进料管(405),且进料管(405)与引导管(403)相对应,所述固定块(402)底部设有固定垫(404),所述伸缩杆(401)外侧设有支撑块(406)。

【专利技术属性】
技术研发人员:钱志刚刘顺江吕灵娟冯文秀邹允耕
申请(专利权)人:深圳市超纯环保股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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