一种稳定洁净的氢氟酸取样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种稳定洁净的氢氟酸取样装置，可应用于氢氟酸取样技术领域。包括箱体、进样管、所述箱体自上到下设有进样控制室、取样室和废液室，其中进样控制室和取样室设有箱门，且两室之间设有第一隔板，第一隔板上设有管通孔，所述取样室设有可拆卸的取样基座，所述取样基座包括三面围板、底座和支撑柱，所述三面围板相对的两面对称设有可伸缩的固定手柄，通过取样基座可伸缩固定手柄的设置，实现对不同规格取样瓶的稳定固定，避免取样过程中因为取样瓶的倾倒造成取样失败或者转移取样过程中取样液体的倾倒对人体和周围环境造成损害。造成损害。造成损害。

【技术实现步骤摘要】
一种稳定洁净的氢氟酸取样装置


[0001]本技术属于氢氟酸取样
，具体涉及一种稳定洁净的氢氟酸取样装置。

技术介绍

[0002]氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，为无色发烟液体，具有强烈的刺激性气味，并且具有强腐蚀性，剧毒，易溶于水、乙醇，微溶于乙醚。氢氟酸腐蚀性强，可强烈的腐蚀金属、玻璃以及含硅的物质，同时其对人体危害极大，一旦人体误吸入蒸汽或者接触到皮肤就会造成难以治愈的器质性损伤，除作为蚀刻剂外，氢氟酸还可以作为制冷剂，近年来伴随半导体行业的迅速发展，氢氟酸也成为微电子产品制作过程中的关键性基础化工材料之一，可以用于集成电路（IC)和超大规模集成电路(VLSI ）芯片的清洗和腐蚀。
[0003]氢氟酸用于电子行业对其非金属含量要求极高，按国际标准，电子级氢氟酸主要分为5个等级，其中用于半导体制造的，必须是第四、第五高等级，要求非金属元素的含量C1≤5000pb、NO,≤3000pb、PO4≤1000pb、S02≤5000pb,金属元素的含量要求低于10ppb。因此在氢氟酸制备过程中需要时刻监控氢氟酸各组分含量。介于氢氟酸自身特性很难在制备过程中时刻监控其组分含量，常规主要通过在制备管道的旁路露天人工取样，操作过程存在巨大的中毒风险，另外露天取样会导致取样样本不干净，取样容易被污染的问题，取样量不容易控制并且取样过程中取样瓶不稳固会造成取到用于检测的氢氟酸倾倒，腐蚀周边设备并且对取样人员健康造成严重危害。

技术实现思路

[0004]为解决现有技术中存在的取样不方便，并且取样瓶倾倒对人体以及周围环境造成危害的问题，本技术提供一种取样环境洁净，取样瓶不容易倾倒，同时能够精准控制取样量的氢氟酸取样装置。
[0005]具体的本技术采用如下技术方案，一种稳定洁净的氢氟酸取样装置，包括箱体、进样管，所述箱体自上到下设有进样控制室、取样室和废液室，其中进样控制室和取样室设有箱门，且两室之间设有第一隔板，第一隔板上设有管通孔，其特征在于，所述取样室设有可拆卸的取样基座，所述取样基座包括三面围板、底座和支撑柱，所述三面围板相对的两面对称设有可伸缩的固定手柄；
[0006]所述固定手柄包括弧状固定部、第一筒体、第二筒体和弹簧，所述弹簧设在固定手柄内部，弹簧的两端分别与弧状固定部与第二筒体固定连接，弧状固定部与第一筒体一端固定连接，第二筒体远离第一筒体的一端与取样基座固定连接，所述第一筒体的直径大于第二筒体直径，第一筒体可以相对于第二筒体相对往复运动。
[0007]进一步优选的，箱体底部设有废液室，取样室与废液室之间设有第二隔板，第二隔板上设有漏液通孔。
[0008]进一步优选的，所述进样控制室内设有微调阀门和固定横梁，所述微调阀门设在
进样管上，固定横梁设在箱体上，进样管贯穿固定横梁。所述固定横梁将进样管固定，防止进样管的抖动对进样产生影响。
[0009]进一步优选的，所述取样基座的底部设有支撑柱，所述支撑柱直径小于等于漏液通孔直径。用于将取样基座固定在第二隔板上，提升取样基座的稳定性，防止取样基座的意外倾倒，其中支撑柱的数量至少为1个。
[0010]进一步优选的，所述进样管设有总控阀门，所述总控阀门设置在箱体外部。
[0011]进一步优选的，所述箱体和箱门为亚力克板，所述箱门通过塑料连接部与箱体连接。
[0012]进一步优选的，所述废液室设有废液储箱，所述废液储箱可以从废液室抽出并且与箱体分离。
[0013]进一步优选的，所述取样室设有通风口。
[0014]进一步优选的，所述箱体上设有管道固定件，进样管穿过管道固定件。管道固定件将进样管与箱体固定，防止箱体的晃动导致取样瓶倾倒或者对取样准确度造成影响。
[0015]进一步优选的，所述箱门和废液储箱均设有把手。所述把手方便开关箱门和移动废液储箱。
[0016]本技术的有益效果是：
[0017]（1）实现氢氟酸取样环境的洁净，降低裸露环境中灰尘以及其他污染物对取样液体的影响。
[0018]（2）通过取样基座可伸缩固定手柄的设置，实现对不同规格取样瓶的稳定固定，避免取样过程中因为取样瓶的倾倒造成取样失败或者转移取样过程中取样液体的倾倒对人体和周围环境造成损害。
[0019]（3）另外本技术实现对取样液体的精准控制，避免因为进样过多或者多少问题造成取样失败，同时取样产生的废液能及时清除，保证取样环境的洁净。
附图说明
[0020]图1为本技术氢氟酸取样装置立体图；
[0021]图2为本技术氢氟酸取样装置剖面视图；
[0022]图3为本技术氢氟酸取样装置后视图；
[0023]图4为本技术氢氟酸取样装置的取样基座处放大视图；
[0024]图5为本技术固定手柄立体图与局部剖视图。
[0025]图中，1箱体；11进样控制室；12取样室；13废液室；14第二隔板；2进样管；21总控阀门；22管道固定件；3取样基座；31三面围板；32底座；33支撑柱；4箱门；41塑料连接部；42把手；5第一隔板；6管通孔；7固定手柄；71弧状固定部；72第一筒体；73第二筒体；74弹簧；8漏液通孔；9微调阀门；91固定横梁；10通风口；废液储箱101。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]需要说明的是，在本技术的描述中，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，并不是指示或暗示所指的装置或元件所必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]如图1至图3所示，本技术提供一种技术方案：一种稳定洁净的氢氟酸取样装置，包括箱体1、进样管2，所述箱体1自上到下设有进样控制室11、取样室12和废液室13，其中进样控制室11和取样室12设有箱门4，且两室之间设有第一隔板5，第一隔板5上设有管通孔6，其中第一隔板5将进样控制室11和取样室12分割为两个独立的空间，方便进样控制和取样的独立进行，互不干扰。
[0029]需要清楚的是，在本技术中，为了便于取样和固定取样瓶，取样室12设有可拆卸的取样基座3，根据图4和图5所示，取样基座3包括三面围板31、底座32和支撑柱33，三面围板31相对的两面对称设有可伸缩的固定手柄7；其中固定手柄7包括弧状固定部71、第一筒体72、第二筒体73和弹簧74，弹簧74设在固定手柄7内部，弹簧74的两端分别与弧状固定部71与第二筒体73固定连接，弧状固定部与第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种稳定洁净的氢氟酸取样装置，包括箱体（1）、进样管（2）、其特征在于，所述箱体自上到下设有进样控制室（11）、取样室（12）和废液室（13），其中进样控制室（11）和取样室（12）设有箱门（4），且两室之间设有第一隔板(5)，第一隔板（5）上设有管通孔（6），所述取样室（12）设有可拆卸的取样基座（3），所述取样基座（3）包括三面围板（31）、底座（32）和支撑柱（33），所述三面围板（31）相对的两面对称设有可伸缩的固定手柄（7）；所述固定手柄包括弧状固定部（71）、第一筒体（72）、第二筒体（73）和弹簧（74），所述弹簧（74）设在所述固定手柄（7）内部，弹簧（74）的两端分别与弧状固定部（71）与和第二筒体（73）固定连接，弧状固定部（71）与第一筒体（72）一端固定连接，第二筒体（73）远离第一筒体（72）的一端与取样基座（3）固定连接，所述第一筒体（72）的直径大于第二筒体（73）直径，第一筒体（72）可以相对于第二筒体（73）相对往复运动。2.如权利要求1所述的一种稳定洁净的氢氟酸取样装置，其特征在于，所述箱体（1）底部设有废液室（13），取样室（12）与废液室（13）之间内部设有第二隔板（14），第二隔板（14）上设有漏液通孔（8）。3.如权利要求1所述的一种稳定洁净的氢氟酸取样装置，其特征在于，所述进样...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘华兵，
申请(专利权)人：深圳市超纯环保股份有限公司，
类型：新型
国别省市：