【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材烧结，具体涉及一种靶材烧结垫片的自动布料装置。
技术介绍
1、氧化铟锡(i to)靶材，是一种用于磁控溅射镀膜的靶材材料，用于镀制透明导电的i to膜，广泛应用于显示屏、触摸屏、太阳能电池等领域。i to靶材的纯度要求99.99％以上。所以在烧结窑内烧结时，需要用高纯的垫片支撑，避免其直接与承烧板接触。
2、烧结垫片在承烧板上的铺设是一项精细且工程体量较大的工序，需要将烧结垫片均匀地呈矩形阵列地铺设在承烧板上，目前主要还是通过人工铺设烧结垫片，人工铺设很难将烧结垫片均匀地呈矩形阵列地铺设在承烧板上，且人工成本高、效率低、易损坏烧结垫片，因此，亟需一种靶材烧结垫片的自动布料装置。
技术实现思路
1、为了解决人工铺设烧结垫片的不足，本技术提供一种靶材烧结垫片的自动布料装置，能够自动快速的将不同尺寸的烧结垫片均匀地呈矩形阵列地铺设在承烧板上。
2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种靶材烧结垫片的自动布料装置，包括矩形支架，所述矩形支...
【技术保护点】
1.一种靶材烧结垫片的自动布料装置，包括矩形支架(1)，其特征在于:所述矩形支架(1)一侧安装有驱动机构(2)，所述矩形支架(1)内安装有两根横向螺纹杆(3)，所述驱动机构(2)可驱动两根所述横向螺纹杆(3)同步转动，两根所述横向螺纹杆(3)之间设置有吊框(4)和铺设机构(5)，所述吊框(4)内固定安装有两根竖向滑杆(6)，两根所述竖向滑杆(6)上活动设置有多个用于叠放烧结垫片(7)的放置盒(8)，所述放置盒(8)左侧具有开口，所述放置盒(8)内设置有推动机构(9)，所述推动机构(9)用于将叠放的烧结垫片(7)逐个推送至所述开口处，所述铺设机构(5)用于将所述开口处的...
【技术特征摘要】
1.一种靶材烧结垫片的自动布料装置，包括矩形支架(1)，其特征在于:所述矩形支架(1)一侧安装有驱动机构(2)，所述矩形支架(1)内安装有两根横向螺纹杆(3)，所述驱动机构(2)可驱动两根所述横向螺纹杆(3)同步转动，两根所述横向螺纹杆(3)之间设置有吊框(4)和铺设机构(5)，所述吊框(4)内固定安装有两根竖向滑杆(6)，两根所述竖向滑杆(6)上活动设置有多个用于叠放烧结垫片(7)的放置盒(8)，所述放置盒(8)左侧具有开口，所述放置盒(8)内设置有推动机构(9)，所述推动机构(9)用于将叠放的烧结垫片(7)逐个推送至所述开口处，所述铺设机构(5)用于将所述开口处的烧结垫片(7)逐个铺设至承烧板(29)表面。
2.根据权利要求1所述的一种靶材烧结垫片的自动布料装置,其特征在于，所述铺设机构(5)包括相对套设于两个所述横向螺纹杆(3)上的两个滑座(10)，两个所述滑座(10)底部均设置有竖板(11)，两个所述竖板(11)之间活动设置调节轴(12)，所述调节轴(12)一端固定连接一号电机(13)，所述调节轴(12)外周对称设置两个一号伸缩杆(14)，两个所述一号伸缩杆(14)的伸缩端固定连接安装架(15)，所述安装架(15)端部固定连接储气腔...
【专利技术属性】
技术研发人员：程天赐，高建成，张廷，何龙伟，钟小华，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：
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