电子元件的离线检测装置制造方法及图纸

本申请提供一种电子元件的离线检测装置，主要包括：真空电磁阀的进气口通过第一真空管路分别与第一泄压阀和真空泵的出气口连接，真空电磁阀的出气口通过第二真空管路与第二泄压阀连接；继电器的一端与PLC电连接；继电器的另一端与真空电磁阀的信号控制端电连接；调速电路的信号输入端与PLC电连接，调速电路的信号输出端与真空泵的控制端电连接；第一真空传感器的压强检测端设置于第一真空管路内，第一真空传感器的压强输出端与PLC电连接；第二真空传感器的压强检测端设置于第二真空管路内，第二真空传感器的压强输出端与PLC电连接。如此，能够检测真空电磁阀是否损坏，从而确保AIO设备中使用未损坏的真空电磁阀，继而确保AIO设备传送POD的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及自动控制，尤其涉及一种电子元件的离线检测装置。

技术介绍

1、自动物料搬运系统(automatic material handling system，amhs)，也被称为天车系统，包括天车、轨道、载具、控制系统和物料存储仓库。如果amhs应用于半导体晶圆加工行业，那么基于amhs可以快速准确地将物料存储仓库中的晶圆搬送到目的地。在搬送晶圆过程中，自动输入输出(automatic input output，aio)设备利用真空电磁阀开启真空负压功能后，在真空传感器检测到晶圆盒(package outline drawing，pod)被负压吸盘稳定吸附的情况下，利用传送机构将pod送入或搬出物料存储仓库。

2、在相关技术中，由于pod底盘经常会附带颗粒污染物，堵住真空电磁阀的通气口、堵住真空传感器的压强检测端、损坏真空电磁阀、或者、损坏真空传感器，都可能导致真空负压吸盘的吸力变小，甚至可能导致无法稳定吸附pod。如果颗粒污染物堵住通气口，则对真空电磁阀和真空传感器进行清理即可。如果真空电磁阀和/或真空传感器损坏，则需要更换电磁阀和/或真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子元件的离线检测装置，其特征在于，包括：检测模块、真空电磁阀、真空泵、第一泄压阀和第二泄压阀，其中，

2.如权利要求1所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：直流供电电路；

3.如权利要求2所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：第一数字真空表和第二数字真空表；

4.如权利要求3所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：第一指针真空表和第二指针真空表；

5.如权利要求2所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：第一指示灯；

6.如权利要求2所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还...

【技术特征摘要】

1.一种电子元件的离线检测装置，其特征在于，包括：检测模块、真空电磁阀、真空泵、第一泄压阀和第二泄压阀，其中，

2.如权利要求1所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：直流供电电路；

3.如权利要求2所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：第一数字真空表和第二数字真空表；

4.如权利要求3所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：第一指针真空表和第二指针真空表；

5.如权利要求2所述的电子元件的离线检测装置，其特征在于，还包括：第一指示灯；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瀚文，李勇刚，石春来，王高杰，卢营余，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，
类型：新型
国别省市：