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本申请提供一种电子元件的离线检测装置，主要包括：真空电磁阀的进气口通过第一真空管路分别与第一泄压阀和真空泵的出气口连接，真空电磁阀的出气口通过第二真空管路与第二泄压阀连接；继电器的一端与PLC电连接；继电器的另一端与真空电磁阀的信号控制端电...
该专利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（天津）有限公司授权不得商用。

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