【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅烷燃烧筒，具体为一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒。
技术介绍
1、硅烷废气是半导体制造行业中常见的废气之一，由于硅烷在半导体制造过程中广泛使用，导致了一定量的硅烷废气产生，硅烷废气主要由硅烷、氢气、氮气、甲烷等成分组成，其中硅烷是主要成分，占据了废气中的绝大部分，由于硅烷废气的高毒性和易燃性，对环境和人体健康造成了一定的威胁，因此需要采用硅烷燃烧筒对硅烷废气进行处理，以减少对环境和人的危害；
2、例如公告号为cn218209602u的授权专利(一种硅烷燃烧筒)：包括支撑柱，所述支撑柱的上半部之间连接有燃烧筒，所述燃烧筒的上部分开口连接有延长筒，且延长筒上固定安装有贯穿延长筒的排气管，所述延长筒的内腔两侧壁开设有相对应设置的滑动槽，且滑动槽内活动安装有铁丝筛网，所述延长筒的内腔相对于铁丝筛网的上方转动安装有旋转杆，所述支撑柱的底部固定连接有支撑板，且支撑板的顶面相对于四个支撑柱之间安装有积灰箱；
3、上述现有技术虽然方便尽量减小烟灰出现结块，但是在对气体进行喷洒时需要从外部供水，不能对水体进行循环利...
【技术保护点】
1.一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，包括处理筒(1)，其特征在于：所述处理筒(1)内部的底部固定安装有底块(13)，所述底块(13)的上端面为倾斜面，所述处理筒(1)一侧的下方固定安装有循环箱(6)，所述循环箱(6)的内部分别设置有水腔(10)和收集腔(11)，且水腔(10)位于收集腔(11)的上方，所述水腔(10)与处理筒(1)连通，所述水腔(10)的内部设置有过滤板(12)，且过滤板(12)与循环箱(6)通过螺丝固定连接，所述水腔(10)的内部沿收集腔(11)的上方设置有导流板(19)，所述导流板(19)的下方固定安装有支撑柱(20)，所述循环箱(6)的上方...
【技术特征摘要】
1.一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，包括处理筒(1)，其特征在于：所述处理筒(1)内部的底部固定安装有底块(13)，所述底块(13)的上端面为倾斜面，所述处理筒(1)一侧的下方固定安装有循环箱(6)，所述循环箱(6)的内部分别设置有水腔(10)和收集腔(11)，且水腔(10)位于收集腔(11)的上方，所述水腔(10)与处理筒(1)连通，所述水腔(10)的内部设置有过滤板(12)，且过滤板(12)与循环箱(6)通过螺丝固定连接，所述水腔(10)的内部沿收集腔(11)的上方设置有导流板(19)，所述导流板(19)的下方固定安装有支撑柱(20)，所述循环箱(6)的上方固定安装有顶盖(18)。
2.根据权利要求1所述的一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，其特征在于：所述处理筒(1)的内部固定安装有内封块(16)，所述内封块(16)的内部设置有置放凹槽(22)，所述置放凹槽(22)的内部设置有安放环板(23)，所述安放环板(23)的下方固定安装有过滤筒(17)，所述过滤筒(17)穿出内封块(16)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种具有粉末气体分离装置的硅烷燃烧筒，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵震，
申请(专利权)人：江苏超日净化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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