【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅烷燃烧筒，具体为一种具有尾气过滤装置的硅烷燃烧筒。
技术介绍
1、硅烷废气是半导体制造行业中常见的废气之一，由于硅烷在半导体制造过程中广泛使用，导致了一定量的硅烷废气产生，硅烷废气主要由硅烷、氢气、氮气、甲烷等成分组成，其中硅烷是主要成分，占据了废气中的绝大部分，由于硅烷废气的高毒性和易燃性，对环境和人体健康造成了一定的威胁，因此需要采用硅烷燃烧筒对硅烷废气进行处理，以减少对环境和人的危害；
2、例如公告号为cn208442845u的授权专利(一种硅烷燃烧筒)：新型提供了一种硅烷燃烧筒，包括：燃烧室，进气管，排气管，收集室和集尘桶；所述燃烧室为圆柱状，所述收集室为漏斗状，所述收集室的上端大开口连接在所述燃烧室的下侧，所述收集室的下端小开口连接所述集尘桶；所述进气管连接在所述燃烧室的侧方，将气体从所述燃烧室的切线方向注入燃烧室中，所述排气管连接在所述燃烧室的上侧。所述燃烧室的上侧还设置有泄爆口，所述泄爆口与所述燃烧室的内腔相连通；
3、上述现有技术虽然有效避免车间生产工艺设备一旦出现硅烷泄漏，硅烷气体剧...
【技术保护点】
1.一种具有尾气过滤装置的硅烷燃烧筒，包括燃烧筒(1)，其特征在于：所述燃烧筒(1)的上方固定安装有过滤箱(5)，所述过滤箱(5)的上方固定安装有输出管(9)，所述过滤箱(5)的一侧设置有供水管(10)，且供水管(10)延伸进过滤箱(5)的内部，所述过滤箱(5)的内部沿供水管(10)的下方设置有喷头(11)，所述过滤箱(5)内部的下方设置有过滤布袋(14)，所述过滤箱(5)的下方固定安装有排水管(12)。
2.根据权利要求1所述的一种具有尾气过滤装置的硅烷燃烧筒，其特征在于：所述燃烧筒(1)的上部分为圆筒状，且燃烧筒(1)的下部分为倒椎体状，所述燃烧筒(1...
【技术特征摘要】
1.一种具有尾气过滤装置的硅烷燃烧筒，包括燃烧筒(1)，其特征在于：所述燃烧筒(1)的上方固定安装有过滤箱(5)，所述过滤箱(5)的上方固定安装有输出管(9)，所述过滤箱(5)的一侧设置有供水管(10)，且供水管(10)延伸进过滤箱(5)的内部，所述过滤箱(5)的内部沿供水管(10)的下方设置有喷头(11)，所述过滤箱(5)内部的下方设置有过滤布袋(14)，所述过滤箱(5)的下方固定安装有排水管(12)。
2.根据权利要求1所述的一种具有尾气过滤装置的硅烷燃烧筒，其特征在于：所述燃烧筒(1)的上部分为圆筒状，且燃烧筒(1)的下部分为倒椎体状，所述燃烧筒(1)的前端固定安装有进气管(22)，所述进气管(22)处于燃烧筒(1)的筒腔的切线方向，所述进气管(22)的上方固定安装有空气管，所述空气管内部设置有单向阀。
3.根据权利要求1所述的一种具有尾气过滤装置的硅烷燃烧筒，其特征在于：所述燃烧筒(1)内部的上方固定安装有输送管(7)，所述输送管(7)的上端延伸进过滤箱(5)的内部，所述过滤箱(5)的内部沿输送管(7)的一侧固定安装有挡板(8)。
4.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵震，
申请(专利权)人：江苏超日净化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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