一种用于朗缪尔探针的滤波电路、朗缪尔探针及测量系统技术方案

本发明专利技术属于等离子体科学与技术领域，公开了一种用于朗缪尔探针的滤波电路、朗缪尔探针和测量系统，其中滤波电路用于抑制所述朗缪尔探针采集到的测量信号中的中高频噪声；该滤波电路由若干个可调滤波单元串联组成，每个可调滤波单元均由一个可调电容和一个电感并联组成。该新型朗缪尔探针设置有该滤波电路。本发明专利技术通过三个可以调节的电容，能够消除在特定射频频率下的失真，测量得到较为精确的I‑V曲线，该设备易于加工，使用方便，测量结果准确，方便量产，成本较低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于等离子体科学与，具体涉及一种用于朗缪尔探针的滤波电路、朗缪尔探针及测量系统。

技术介绍

1、等离子体诊断领域的一种发展最早的、最基本的、且行之有效的等离子体参数测量诊断方法是朗缪尔探针方法。该方法可以获得等离子体的电子温度、电子浓度、离子浓度、空间电位、悬浮电位、电子能量分布函数等参数随时间和空间的变化规律，是各种等离子体诊断方法中最简单、经济的方法，且能测得的参数也最多。在直流等离子体中，由于等离子体由稳态电压激发，参数较为稳定；然而在射频等离子体中，由于等离子体由射频电源激发，其空间电势会随射频电源发生震荡，导致在测量电路中产生一个震荡电流，这使得i-v曲线过渡区发生横向震荡，测得的i-v曲线相对于真实曲线形状发生扭曲，进而导致电子温度、电子能量分布函数等的测量产生很大误差。所以普通的探针只适用于稳态等离子体中，对于射频等离子体的诊断会造成较大的误差，甚至失真。

2、科学系统研究公司(都柏林)的米歇尔提出了一种射频朗缪尔探针，为了减小失真，在探针尖端到数据采集之间串联了四个射频分压器；北京航天航空大学的张尊等人提出了一种射频补本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于朗缪尔探针的滤波电路，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于朗缪尔探针的滤波电路，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的用于朗缪尔探针的滤波电路，其特征在于，

4.一种朗缪尔探针，其特征在于，所述朗缪尔探针内部设置有权利要求1-3任一项所述的滤波电路。

5.如权利要求4所述的朗缪尔探针，其特征在于，

6.一种测量系统，所述测量系统用于射频等离子体参数测量，并且采用权利要求1-3任一项所述的滤波电路，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种用于朗缪尔探针的滤波电路，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于朗缪尔探针的滤波电路，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的用于朗缪尔探针的滤波电路，其特征在于，

4.一种朗缪尔探针，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓宇，聂明卿，苗龙，廖煜淦，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：