【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其是涉及一种可调式高规格取样装置。
技术介绍
1、目前半导体业界所使用的高纯度化学品中，金属离子分析能力往ppq级别迈进，且同步注重与化学品在晶圆上的微粒子大小和分布。故取样过程中，取样箱中的环境要达到降低金属不纯物污染的要求。
2、现有的，取样箱包括箱体、设置在箱体上的进液口和出液口，箱体的侧壁上设置有操作窗口，操作窗口位于箱体的中间位置，操作窗口的设置用于置入取样瓶或者取出取样瓶。将取样瓶装入箱体内后进行验证和试验等工作。
3、上述取样箱中流体输送过程中因温度和流速上的影响造成干扰性气泡，对金属离子的取样造成影响，存在待改进之处。
技术实现思路
1、为了便于调节取样箱内的温度，减小在输送金属离子的过程中气泡的产生，本申请提供一种可调式高规格取样装置。
2、本申请提供的一种可调式高规格取样装置，采用如下的技术方案：
3、一种可调式高规格取样装置，包括箱体，还包括，
4、调温箱，所述调温箱固定在所述箱体的侧壁上...
【技术保护点】
1.一种可调式高规格取样装置，包括箱体(1)，其特征在于：还包括，
2.根据权利要求1所述的一种可调式高规格取样装置，其特征在于：所述箱体(1)的顶壁上固定有带风车式滤网(8)，所述箱体(1)的侧壁上固定有回风盒(9)，所述回风盒(9)的内腔与所述箱体(1)的内腔连通，所述箱体(1)的两侧均固定有所述回风盒(9)，所述带风车式滤网(8)背离所述箱体(1)的一侧设置有回风盖(10)，所述回风盖(10)与所述回风盒(9)相连通，所述回风盖(10)与所述回风盒(9)内腔相连通。
3.根据权利要求2所述的一种可调式高规格取样装置，其特征在于：所述回风盖...
【技术特征摘要】
1.一种可调式高规格取样装置，包括箱体(1)，其特征在于：还包括，
2.根据权利要求1所述的一种可调式高规格取样装置，其特征在于：所述箱体(1)的顶壁上固定有带风车式滤网(8)，所述箱体(1)的侧壁上固定有回风盒(9)，所述回风盒(9)的内腔与所述箱体(1)的内腔连通，所述箱体(1)的两侧均固定有所述回风盒(9)，所述带风车式滤网(8)背离所述箱体(1)的一侧设置有回风盖(10)，所述回风盖(10)与所述回风盒(9)相连通，所述回风盖(10)与所述回风盒(9)内腔相连通。
3.根据权利要求2所述的一种可调式高规格取样装置，其特征在于：所述回风盖(10)的侧壁上设置有若干个自动调压风门(11)，所述自动调压风门(11)位于所述回风盖(10)的相对两侧。
4.根据权利要求1所述的一种可调式高规格取样装置，其特征在于：沿所述调温箱(2)的高度方向上所述取样管路(5)的外壁上设置有两段所述加热线(6)。
5.根据权利要求1所述的一种可调式高规格取样装置，其特征在于：所述调温箱(2)的内壁上固定有安装板(12)，所述安装板(12)的侧壁上转动设置有驱动杆(13)，所述驱动杆(13)侧壁上滑移连接有若干个曲柄(14)，若干个所述冰水隔板(7)的侧壁上均固定有转动轴(15)，所述转动轴(15)均与所述安装板(12)转动连接，所述转动轴(15)与所述曲柄(14)呈一一对应设置，所述转动轴(15)与所述曲柄(14)远离所述驱动杆(13)的一端固定连接，所述安装板(12)的侧壁...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏升，黄柏岳，侯正扬，程佳彪，
申请(专利权)人：上海韵申微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。