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本申请涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种可调式高规格取样装置，包括箱体，还包括，调温箱，所述调温箱固定在所述箱体的侧壁上，所述调温箱的侧壁上开设有进液口和出液口；取样管路，所述取样管路设置有若干个，若干个所述取样管路均与所述调温箱的内壁固定...
该专利属于上海韵申微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海韵申微电子技术有限公司授权不得商用。

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