【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测的，尤其涉及一种卡盘组件及探针台。
技术介绍
1、在探针台
中，探针台中的卡盘用于承载待检测的晶圆。然而，通常卡盘(chuck)无法完全从探针台的整机拉出，使得待测试的晶圆的径向尺寸较大时，操作者安装晶圆的过程较为困难。
2、目前部分探针台通过将整机的顶盖翻起来，以实现在卡盘安装晶圆，但是不利于在顶盖放置针座等结构，因此适用范围较窄。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种卡盘组件及探针台，以便于用户进行晶圆的装卸。
2、第一方面，本申请提供一种卡盘组件，所述卡盘组件应用于探针台中，所述探针台具有收容腔，所述卡盘组件收容于所述收容腔内，所述卡盘组件包括：
3、卡盘，所述卡盘用于承载待测试的晶圆；
4、第一承载板，所述第一承载板用于承载所述卡盘，所述第一承载板具有相背设置的第一端部及第二端部；
5、第二承载板，所述第二承载板设置于所述第一承载板背离所述卡盘的一侧；及
6、导轨组件，所述导轨组件包...
【技术保护点】
1.一种卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件应用于探针台中，所述探针台具有收容腔，所述卡盘组件收容于所述收容腔内，所述卡盘组件包括：
2.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘邻近所述第一端部设置，所述第一导轨沿所述第一方向延伸，且所述第一导轨沿所述第一方向凸出于所述第一承载板的第一端部，所述第二导轨沿所述第一方向延伸，且所述第二导轨沿所述第一方向凸出于所述第二承载板。
3.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述第一承载板具有限位部，所述第二承载板在邻近所述第一承载板的一侧设置有第一限位块及第二限位块，当所述第一承载板位于第一位置...
【技术特征摘要】
1.一种卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件应用于探针台中，所述探针台具有收容腔，所述卡盘组件收容于所述收容腔内，所述卡盘组件包括：
2.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘邻近所述第一端部设置，所述第一导轨沿所述第一方向延伸，且所述第一导轨沿所述第一方向凸出于所述第一承载板的第一端部，所述第二导轨沿所述第一方向延伸，且所述第二导轨沿所述第一方向凸出于所述第二承载板。
3.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述第一承载板具有限位部，所述第二承载板在邻近所述第一承载板的一侧设置有第一限位块及第二限位块，当所述第一承载板位于第一位置时，所述第一限位块卡接于所述限位部，当所述第一承载板位于第二位置时，所述第二限位块卡接于所述限位部。
4.如权利要求3所述的卡盘组件，其特征在于，所述第一承载板还包括限位柱，所述限位柱沿所述第一方向设置于所述限位部的一侧，所述第一限位块在邻近所述第一承载板的一侧具有第一凸出部，所述第二限位块在邻近所述第二承载板的一侧具有第二凸出部，当所述第一承载板位于第一位置时，所述第一凸出部抵接于所述限位柱，当所述第一承载板位于第二位置时，所述第二凸出部抵接于所述限位柱。
5.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件还包括第三限位块及旋转气缸，所述第三限位块设置于所述第一承载板，所述旋转气缸设置于所述第二承载板，所述旋转气缸能够沿第二方向转动，所述旋转气缸具有第一旋转位置及第二旋转位置，当所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：周凯旋，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。