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本申请提供一种卡盘组件及探针台。卡盘组件包括卡盘、第一承载板、第二承载板及导轨组件。第一承载板用于承载卡盘,第一承载板具有相背设置的第一端部及第二端部;第二承载板设置于第一承载板背离卡盘的一侧;导轨组件包括第一导轨及第二导轨,第一导轨连接于...该专利属于深圳市森美协尔科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市森美协尔科技有限公司授权不得商用。
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