【技术实现步骤摘要】
本技术属于化学合成，更具体的说是涉及一种乙硅烷合成系统。
技术介绍
1、乙硅烷是一种重要的电子特气，主要用于太阳能电池及半导体工业，与硅烷相比，具有沉积速度快、沉积温度低等优点，市场前景看好，价格较高。
2、乙硅烷的合成方法较多，原料主要有硅化镁、卤代乙硅烷、硅烷等三种。以硅化镁和卤代乙硅烷为原料的合成方法，受原料、产物分离等限制，多用于小批量生产。以硅烷为原料的合成方法，随着硅烷工业的蓬勃发展和乙硅烷下游市场的不断开拓，日益受到关注。
3、以硅烷制备乙硅烷，关键在于尽量打破硅-氢键和适度生成硅-硅键。打破硅-氢键的方法，有光解、辉光放电、原子激发、静电场、热解等。光解、辉光放电、原子激发、静电场等需要结构特殊的设备，难度较高；同时控制硅-硅键聚合程度的能力较弱，高阶产物含量价高，产品分离较复杂。热解可采用化工通用设备，难度较低；可以通过控制反应温度的方法打破硅-氢键和控制硅-硅键的聚合程度。
4、硅烷热解制乙硅烷方法，按是否采用催化剂分为非催化热解和催化热解两类。无论哪类方法，关键在于选择原理简单结...
【技术保护点】
1.一种乙硅烷合成系统，其特征在于，包括：乙硅烷反应模块、氢气分离模块和乙硅烷分离模块，所述乙硅烷反应模块包括乙硅烷合成反应器、原料气-产品气换热器、原料气加热器、产品气冷却器和硅烷循环压缩机，所述氢气分离模块包括产品气冷凝分离器，所述乙硅烷分离模块包括硅烷分离塔和乙硅烷精馏塔；
2.根据权利要求1所述一种乙硅烷合成系统，其特征在于，所述产品气冷凝分离器分为分离部分和冷凝部分，分离部分为空腔结构，冷凝部分为管壳结构，冷凝部分管程走气相产品和液相产品，冷凝部分壳程走冷凝液，所述壳程设有冷凝液进口和冷凝液出口，所述分离部分连接有硅烷液位控制系统。
...
【技术特征摘要】
1.一种乙硅烷合成系统，其特征在于，包括：乙硅烷反应模块、氢气分离模块和乙硅烷分离模块，所述乙硅烷反应模块包括乙硅烷合成反应器、原料气-产品气换热器、原料气加热器、产品气冷却器和硅烷循环压缩机，所述氢气分离模块包括产品气冷凝分离器，所述乙硅烷分离模块包括硅烷分离塔和乙硅烷精馏塔；
2.根据权利要求1所述一种乙硅烷合成系统，其特征在于，所述产品气冷凝分离器分为分离部分和冷凝部分，分离部分为空腔结构，冷凝部分为管壳结构，冷凝部分管程走气相产品和液相产品，冷凝部分壳程走冷凝液，所述壳程设有冷凝液进口和冷凝液出口，所述分离部分连接有硅烷液位控制系统。
3.根据权利要求1所述一种乙硅烷合成系统，其特征在于，还包括再沸器一、再沸器二、冷凝器一、冷凝器二、回流液罐一、回流液罐二和回流比控制系统，所述硅烷分离塔的塔顶、冷凝器一、回流液罐一和硅烷分离塔的上段依次连接，所述乙硅烷精馏塔的塔顶、冷凝器二、回流液罐二和乙硅烷精馏塔的上段依次连接，所述硅烷分离塔的塔底连接有再沸器一，所述乙硅烷精馏塔的塔底连接有...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹宏成，陶刚义，杨林涛，周新军，杜晓辉，黄初，吕阳，刘月颖，侯龙，王小雨，张鑫，刘杰，
申请(专利权)人：内蒙古兴洋科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。