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本技术公开了一种乙硅烷合成系统，属于化学合成技术领域。该系统包括：包括：乙硅烷反应模块、氢气分离模块和乙硅烷分离模块，所述乙硅烷反应模块包括乙硅烷合成反应器、原料气‑产品气换热器、原料气加热器、产品气冷却器和硅烷循环压缩机，所述氢气分离模块...
该专利属于内蒙古兴洋科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古兴洋科技股份有限公司授权不得商用。

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