一种线源蒸镀设备用的改进型遮挡板制造技术

本申请公开了一种线源蒸镀设备用的改进型遮挡板，包括条形遮挡板，条形遮挡板的中部竖直固定设有固定板，位于固定板两侧的条形遮挡板上均贯穿开设有贯穿孔，条形遮挡板的下方设置有防护板，防护板的中部竖直固定设有两个调节板，调节板穿过与其对应的贯穿孔，每个调节板上沿其竖直方向均贯穿开设有条形孔，且固定板上对应条形孔位置处贯穿开设有连接孔，调节板与固定板通过紧固螺栓穿过条形孔和连接孔固定连接。本申请与现有技术相比：该结构中能够上下调节的防护板，既能够避免线源坩埚内的蒸镀材料在蒸发时污染到相邻线源坩埚上方的条形遮挡板，也能够根据实际情况将防护板调节至位于线源坩埚上方的合适位置处。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及蒸镀设备，具体地涉及一种线源蒸镀设备用的改进型遮挡板。

技术介绍

1、有机发光二极管(oled)具有高对比度、广视角、快速响应时间、柔性和薄型设计、低功耗、无需背光、生态友好、高色彩饱和度等优点，在高性能的显示
得到广泛应用。

2、oled器件目前主要采用两种主流制备方式，即蒸镀和喷墨打印。由于蒸镀技术成熟、生产良率高，仍然是主要的制备方法。蒸镀设备根据蒸镀源的分类，可分为点源、线源和面源。点源主要应用于中小型尺寸的面板，而线源和面源则用于中型和大型面板的生产。蒸镀法是一种属于物理气相沉积的真空镀膜技术，其基本原理是将待蒸镀的材料放置在真空蒸发源装置的坩埚内，通过对坩埚加热，使材料从固态转变为气态的原子、原子团或分子，然后凝聚到待镀膜的基板表面形成薄膜。

3、目前，线源蒸镀设备的线性蒸发源通常会设置几个分隔的构造，用于置放线源坩埚，以提高蒸发腔空间的使用率。在线源蒸镀设备的蒸发腔内的每个线源坩埚上方均设置有能够升降的条形遮挡板(如图1所示)，以能够控制镀膜过程中不同线源坩埚的使用。由于条形遮挡板在使用中距离线源坩埚上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种线源蒸镀设备用的改进型遮挡板，包括条形遮挡板(1)、固定板(2)、贯穿孔(3)、防护板(4)、调节板(5)、条形孔(6)和紧固螺栓(7)，其特征在于，所述条形遮挡板(1)的中部竖直固定设有固定板(2)，位于所述固定板(2)两侧的所述条形遮挡板(1)上均贯穿开设有贯穿孔(3)，所述条形遮挡板(1)的下方设置有防护板(4)，所述防护板(4)的中部竖直固定设有两个调节板(5)，两个所述调节板(5)与两个所述贯穿孔(3)的设置位置一一对应，所述调节板(5)穿过与其对应的所述贯穿孔(3)，每个所述调节板(5)上沿其竖直方向均贯穿开设有条形孔(6)，且所述固定板(2)上对应所述条形孔(6)位...

【技术特征摘要】

1.一种线源蒸镀设备用的改进型遮挡板，包括条形遮挡板(1)、固定板(2)、贯穿孔(3)、防护板(4)、调节板(5)、条形孔(6)和紧固螺栓(7)，其特征在于，所述条形遮挡板(1)的中部竖直固定设有固定板(2)，位于所述固定板(2)两侧的所述条形遮挡板(1)上均贯穿开设有贯穿孔(3)，所述条形遮挡板(1)的下方设置有防护板(4)，所述防护板(4)的中部竖直固定设有两个调节板(5)，两个所述调节板(5)与两个所述贯穿孔(3)的设置位置一一对应，所述调节板(5)穿过与其对应的所述贯穿孔(3)，每个所述调节板(5)上沿其竖直方向均贯穿开设有条形孔(6)，且所述固定板(2)上对应所述条形孔(6)位置处贯穿开设有连接孔(8)，所述调节板(5)与所述固定板(2)通过紧固螺栓(7)穿过所述条形孔(6)和所述连接孔(8)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种线源蒸镀设备用的改进型遮挡板，其特征在于，所述贯穿孔(3)的形状与对...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈景升，
申请(专利权)人：安徽微迈思科技有限公司，
类型：新型
国别省市：