气体传感器制造技术

本发明专利技术提供一种气体传感器，其具有：基材，其中形成腔室；第一绝缘膜，其具有与上述基材的作为上述腔室的周缘部的腔室周缘部连接的多个梁部和经由上述梁部保持于上述腔室上的第一绝缘膜膜片部；第二绝缘膜，其层叠于上述第一绝缘膜的上侧；加热器部，其设置于上述第一绝缘膜膜片部的上侧；平坦部，其设置于上述第一绝缘膜膜片部和上述第二绝缘膜之间，且配置于从上方观察时比上述加热器部靠近上述第一绝缘膜膜片部的中心侧的位置，形成朝向上侧的平坦面；气体检测部，其至少经由上述第二绝缘膜配置于上述平坦部的上侧，具有比上述平坦面狭窄的面积。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体传感器。

技术介绍

1、气体传感器是探测存在于气氛中的气体，并将其种类、浓度等信息转换成电信号进行输出的装置。这种气体传感器被搭载于家用电器、工业用设备、环境监视设备等，用于探测对人类、环境等造成影响的特定的气体的浓度。

2、作为气体传感器，根据探测的气体的种类、浓度范围、精度、工作原理、构成材料等的差异，已知有各种探测方式。其中，组合有检测部和用于控制检测部周边温度的加热器的装置作为能够降低由温度影响产生的误差的传感器而被推进开发。

3、例如，作为现有技术的气体传感器之一，有在膜片的外周部配置加热线，且在膜片的内侧部分配置检测电极的传感器(例如，参照专利文献1等)。在这种气体传感器中，因为难以将来自加热线的热传递到膜片的中央附近，所以检测电极周边的温度分布的不均匀性变大，有时对检测稳定性产生不良影响。另一方面，还提出在膜片中使加热线和检测电极层状重叠的技术(例如，参照专利文献2等)。在这种技术中，由于下层的加热线的图案形状产生的凹凸，难以在平坦的面上形成上层的检测电极，因此，存在如下问题：检测电极的形状容易产生局本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种气体传感器，其具有：

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，

5.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，

6.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，

7.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，

8.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，

9.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，

10.根据权利要求9所述的气体传感器，其中，

11.根据权利要求1所述的气体传感...

【技术特征摘要】

1.一种气体传感器，其具有：

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，

5.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，

6.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，

【专利技术属性】
技术研发人员：柴田诚，小野志津子，松尾拓己，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：

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