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本发明提供一种气体传感器，其具有：基材，其中形成腔室；第一绝缘膜，其具有与上述基材的作为上述腔室的周缘部的腔室周缘部连接的多个梁部和经由上述梁部保持于上述腔室上的第一绝缘膜膜片部；第二绝缘膜，其层叠于上述第一绝缘膜的上侧；加热器部，其设置于...
该专利属于TDK株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过TDK株式会社授权不得商用。

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