【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆检测，特别涉及一种晶圆测试装置。
技术介绍
1、晶圆检测设备分为量测和缺陷检测两大类，其中量测类设备主要用来测量透明或不透明薄膜厚度、掺杂浓度、关键尺寸、套准精度等指标，缺陷检测类设备主要用来检测晶圆表面的缺陷。
2、目前的晶圆检测时，由于测试结束后晶圆表面有墨点标记，墨点标记未干燥，晶圆不能直接堆叠放置，需要用专用料盒存放并进入高温烘干箱烘干半小时以上，传统烘干箱功率高，能源利用率不足，且该步骤需要人工将测试完毕的晶圆装入料盒，再放入烘干箱中，工作效率低。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术旨在提出一种晶圆测试装置，以提升晶圆测试流程的连贯性，而提高工作效率。
2、为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：
3、一种晶圆测试装置包括工作台，以及设于所述工作台上的沿预设路径依次排布的储料机构、上料机构、测试机构、转移机构、烘干机构和收料机构；
4、所述储料机构具有用于层叠放置多片晶圆的容纳腔，以及用于逐片分离所述
【技术保护点】
1.一种晶圆测试装置，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的晶圆测试装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的晶圆测试装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的晶圆测试装置，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的晶圆测试装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的晶圆测试装置，其特征在于：
7.根据权利要求1-6所述的晶圆测试装置，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的晶圆测试装置，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的晶圆测试装置，其特征在于：
10.根据...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试装置，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的晶圆测试装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的晶圆测试装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的晶圆测试装置，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的晶圆测试装置，其特征在于：
6....
【专利技术属性】
技术研发人员：刘红军，于国辉，李维善，
申请(专利权)人：秦皇岛视听机械研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：
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