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本发明提供了一种晶圆测试装置，包括沿预设路径依次排列布置的储料机构、上料机构、测试机构、转移机构、烘干机构及收料机构；储料机构具有层叠放置多片晶圆的容纳腔，以及用于逐片分离晶圆的分离组件；上料机构用于将单片晶圆自储料机构内取出并转运；测试机...
该专利属于秦皇岛视听机械研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过秦皇岛视听机械研究所有限公司授权不得商用。

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