一种铜铟硒溅射靶材及其制备方法技术

本申请涉及光电材料领域，具体公开了一种铜铟硒溅射靶材及其制备方法，其制备方法包括以下步骤：S1、制备CuIn粉末：将二水合氯化铜、氯化铟的盐酸溶液混合得到初混液，然后加入草酸溶液混合，搅拌，调节pH值为5‑6，反应陈化，过滤洗涤得到CuIn粉末；S2、准备硒化铟粉末，将In粉和Se粉混合后在真空条件下进行固相反应，得到硒化铟粉末；S3、烧结：将步骤S1中制得的CuIn粉末与步骤S2中制得的硒化铟粉末球磨混合后置于模具中，进行真空烧结，然后随炉冷却脱模，制得铜铟硒靶材；本申请还公开了采用上述方法制得的铜铟硒溅射靶材，其具有提高铜铟硒溅射靶材的电导率性能。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光电材料，更具体地说，它涉及一种铜铟硒溅射靶材及其制备方法。

技术介绍

1、太阳能电池是利用太阳光与材料相互作用直接产生电能的，是对环境无污染的可再生能源。制作太阳能电池主要是以半导体材料为基础，其工作原理是利用光电材料吸收光能量后发生光电转换效应。根据所用材料的不同，太阳能电池可分为：1)以非晶硅(α-si)、多晶硅和单晶硅为材料的硅太阳能电池；2)以ⅲ-ⅴ族化合物半导体如gaas、inp等多元化合物为材料的太阳能电池；3)以铜铟硒(cuinse2简写为cis)为材料生产的太阳能电池；4)以其他材料(ⅱ-ⅵ族半导体，塑料/有机材料)生产的太阳能电池。在这些众多的半导体材料中，铜铟硒半导体薄膜即cuinse2(简称cis)是性能比较优良的太阳光吸收材料。

2、铜铟硒是一种直接带隙半导体材料，光吸收率高达105数量级，是至今报道过的半导体中光吸收系数最高的，对于太阳电池基区光子的吸收，少量载流子的收集是非常有利的条件，最适合太阳电池薄膜化，电池厚度可做到2-3μm，降低昂贵的材料消耗。而且以cis薄膜为基础可以设计出光电转换效率比硅薄膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种铜铟硒溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种铜铟硒溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤S2中，将In粉和Se粉混合后在真空条件下进行固相反应后得到初级硒化铟，然后将初级硒化铟在空气氛围中焙烧，加入淀粉，继续焙烧，焙烧后冷却，干燥，然后加入Cu粉，混合进行真空球磨，烘干，制得硒化铟粉末。

3.根据权利要求1或2所述的一种铜铟硒溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤S1中，氯化铟溶解在2-6mol/L的盐酸中添加，草酸溶液的添加量为初混液添加量的5-10wt%；

4.根据权利要求1或2所述的一种铜铟硒溅射靶材的制...

【技术特征摘要】

1.一种铜铟硒溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种铜铟硒溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤s2中，将in粉和se粉混合后在真空条件下进行固相反应后得到初级硒化铟，然后将初级硒化铟在空气氛围中焙烧，加入淀粉，继续焙烧，焙烧后冷却，干燥，然后加入cu粉，混合进行真空球磨，烘干，制得硒化铟粉末。

3.根据权利要求1或2所述的一种铜铟硒溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤s1中，氯化铟溶解在2-6mol/l的盐酸中添加，草酸溶液的添加量为初混液添加量的5-10wt%；

4.根据权利要求1或2所述的一种铜铟硒溅射靶材的制备方法，其特征在于：步骤s1中，初混液中加入草酸溶液混合后，在50-55℃条件下恒温搅拌，搅拌30-40min后，调节ph值为5-6，反应1-2h后陈化。

5.根据权利要求1或2所述的一种铜铟硒溅射靶材的制备方法，其特征在于：步...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛春桥，陈露，李强，高钰航，罗泽宇，高洋，
申请(专利权)人：中山智隆新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：