一种快速灵活的微量转印装置与方法制造方法及图纸

技术编号:41739412 阅读:23 留言:0更新日期:2024-06-19 12:58
一种快速灵活的微量转印装置与方法,属于微小组件装配与连接领域。装置包括转印模块、静电加载模块,转印模块包括转印头和转印台模块;静电加载模块与转印模块配合实现微量高粘液体的加载和转印:转印头模块通过控制三维精密滑台使转印针穿过静电加载模块使转印针带电,并与其下方胶液接触,实现微量高粘液体的静电加载;三维精密滑台控制转印头模块的转印针与转印台模块中放置在端盖上的待转印零件表面相接触,实现微量高粘液体的转印。转印方法可用于pL~nL级微量高粘胶液的转移。与采用单转印头方法相比,本发明专利技术能够避免由取胶‑转印的长距离平面机械运动以及多次电取胶的过程,而与固定模版的多针转印方法相比,则无须制造多套模版,用一套转印头装置就可以获得多个尺度相近的定制图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微小组件装配与连接领域,涉及一种快速灵活的微量转印装置及其使用方法。


技术介绍

1、纳升级高粘液体的分配被广泛应用于物理和化学的各个领域,特别是在微机电系统和微电子器件的制造中。在微器件的制造过程中,零件间通常需要多个粘合点进行连接或封装。为了提高粘接效率,对高粘液体并行分配的研究是十分必要的,其中的挑战主要为并行分配的分辨率和可靠性。然而,用注射法微量分配高粘胶液时,受高粘流阻限制,分配的胶液量不能准确控制,过量的胶液会造成污染等问题,而胶量不足则会造成连接强度和应力集中下降等问题。受操作空间限制,一旦出现上述情况,无论补胶还是去除残胶都会影响产品的一致性。而且注射法不适用于并行分配。

2、转印法由于避免了注射过程的高粘流阻问题,是目前应用于微量液体并行分配最常见的分配方式。它的核心过程可以描述为:在两个表面之间有给定体积的液体,称为液桥。当两个表面通过拉伸作用分开时,一些液体从一个表面(探针或印章)转移到另一个表面上。在上述过程中,转印液体所能达到的最小分辨率和液体转移量的一致性两项指标是单针转印的关键考量因素,而对于多针并行本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种快速灵活的微量转印装置与方法,其特征在于,所述的微量转印装置包括集成微型气缸组伸缩的转印模块、静电加载模块两部分;其中,转印模块包括转印头模块和转印台模块;静电加载模块与转印模块配合用以实现微量高粘液体的加载和转印;所述的转印头模块通过三维精密滑台使转印针穿过静电加载模块使得转印针带电,并与其下方胶液接触,实现微量高粘液体的静电加载;三维精密滑台控制转印头模块的转印针与转印台模块中放置在端盖上的待转印零件表面相接触,实现微量高粘液体的转印。

2.根据权利要求1所述的一种快速灵活的微量转印装置与方法,其特征在于:

3.根据权利要求2所述的一种快速灵活的微量转...

【技术特征摘要】

1.一种快速灵活的微量转印装置与方法,其特征在于,所述的微量转印装置包括集成微型气缸组伸缩的转印模块、静电加载模块两部分;其中,转印模块包括转印头模块和转印台模块;静电加载模块与转印模块配合用以实现微量高粘液体的加载和转印;所述的转印头模块通过三维精密滑台使转印针穿过静电加载模块使得转印针带电,并与其下方胶液接触,实现微量高粘液体的静电加载;三维精密滑台控制转印头模块的转印针与转印台模块中放置在端盖上的待转印零件表面相接触,实现微量高粘液体的转印。

2.根据权利要求1所述的一种快速灵活的微量转印装置与方法,其特征在于:

3.根据权利要求2所述的一种快速灵活的微量转印装置与方法,其特征在于,所述的微型气缸组(2)的数量和位置通过改变固定法兰(3)的设计来变换,具体的:固定法兰(3)上开设有定位微型...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐征张佳琦王晓东孔浴琛孙仲平
申请(专利权)人:大连理工大学
类型:发明
国别省市:

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