高良率Poly finger结构电池的制备方法及电池技术

本发明专利技术公开了一种高良率Poly finger结构电池的制备方法及电池，制备方法包括采用如下步骤制备电池的正面结构：S1：在基底正面制备绒面结构；S2：形成P+层；S3：形成正面隧穿氧化层及正面本征非晶硅层；S4：在正面本征非晶硅层中进行硼掺杂并进行退火；S5：利用激光对非finger区进行激光改性；S6：进行正面腐蚀清洗，使得仅finger区留有正面隧穿氧化层及P‑poly层，形成Poly finger结构；S7：正面制备正面钝化层；S8：正面金属化形成正面金属栅线；P‑poly层宽度为正面金属栅线宽度的1.2～1.8倍。本发明专利技术可精确控制poly finger范围及印刷对位问题，提高电池良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电池，尤其是一种高良率poly finger电池的制备方法及电池。

技术介绍

1、目前在电池领域，主流制备poly finger结构主要有如下3种方式：1、直接激光法：直接利用大能量激光将非finger区域掺杂多晶硅及隧穿氧化层去除。2、掺杂浆料印刷法：在本征多晶硅上图形化印刷掺杂浆料，并通过热退火辅助掺杂原子推进及激活。3、光刻法：通过整面涂覆光刻胶，在finger区域显影刻蚀后沉积隧穿氧化层及掺杂多晶硅层，形成poly finger结构。

2、直接激光法具有技术相对成熟、精度高、工艺路线简单的优点，但在非finger区直接进行激光刻蚀存在以下问题：破片率增加以及产量低的问题。掺杂浆料印刷法具有天然的图形化优势，但仍存在一些缺点，印刷掺杂网版与金属化网版的对位问题，为提高良率，减少偏位风险，印刷掺杂浆料的网版线宽往往是金属化网版的3～5倍，这部分poly层又会带来额外的寄生吸收，从而导致效率偏低；为了保证印刷性，掺杂浆料还会添加如助熔剂等材料，这会给电池片带来额外污染；同时，掺杂浆料法需配合热推进完成掺杂原子的推进与激活，这仍是本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高良率Poly finger结构电池的制备方法，其特征在于：包括采用如下步骤制备电池的正面结构：

2.根据权利要求1所述的高良率Poly finger结构电池的制备方法，其特征在于：所述基底(1)为N型基底；

3.根据权利要求1所述的高良率Poly finger结构电池的制备方法，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的高良率Poly finger结构电池的制备方法，其特征在于：所述步骤S5中，激光能量30w～60W，激光光斑大小60～140um。

5.根据权利要求1所述的高良率Poly finger结构电池的制备方法，其特征在于：<...

【技术特征摘要】

1.一种高良率poly finger结构电池的制备方法，其特征在于：包括采用如下步骤制备电池的正面结构：

2.根据权利要求1所述的高良率poly finger结构电池的制备方法，其特征在于：所述基底(1)为n型基底；

3.根据权利要求1所述的高良率poly finger结构电池的制备方法，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的高良率poly finger结构电池的制备方法，其特征在于：所述步骤s5中，激光能量30w～60w，激光光斑大小60～140um。

5.根据权利要求1所述的高良率poly finger结构电池的制备方法，其特征在于：

6.根据权利要求1所述的高良率poly finger结构电池的制备方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：费宇，何亮，周健，曾涛，张志勇，金强强，
申请(专利权)人：润马光能科技金华有限公司，
类型：发明
国别省市：