【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及生物传感器，尤其涉及一种悬空阵列碳纳米管场效应晶体管生物传感器的制备方法。
技术介绍
1、随着社会对健康问题的日益关注，生物传感器在临床检验、疾病治疗和食品安全领域正受到日益增长的需求。当前，基因测序及编辑、肿瘤细胞标记与追踪，以及各种疾病标志物(如气体、激素、酶和神经递质等)的浓度检测等技术备受研究界关注，成为科学探索的热点。其中，针对神经递质多巴胺的光电传感系统、电化学传感器和电学传感器等研究不断涌现，取得了令人瞩目的进展。现有技术中主要通过网络碳纳米管生物传感器进行相应的生物分子的检测。
2、然而，网络碳纳米管生物传感器的迁移率、跨导较小，一定程度上阻碍了高灵敏度的测试；此外，网络碳纳米管生物传感器自身噪声较大，进一步使得其检测灵敏度降低。
技术实现思路
1、本专利技术意在提供一种悬空阵列碳纳米管场效应晶体管生物传感器的制备方法，以解决现有技术中存在的不足，本专利技术要解决的技术问题通过以下技术方案来实现。
2、本专利技术提供的悬空阵列碳纳米管场...
【技术保护点】
1.一种悬空阵列碳纳米管场效应晶体管生物传感器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的悬空阵列碳纳米管场效应晶体管生物传感器的制备方法，其特征在于，在覆盖裸露的阵列碳纳米管(1)的高K介质层(5)表面沉积金纳米颗粒层(6)后，形成包覆裸露的高K介质层(5)的钝化层(7)，以对第二源极(32)、第二漏极(42)进行钝化处理。
3.根据权利要求1所述的悬空阵列碳纳米管场效应晶体管生物传感器的制备方法，其特征在于，第二源极(32)与其下方的第一源极(31)在垂直方向上对齐，第二漏极(42)与其下方的第一漏极(41)在垂直方向上
...
【技术特征摘要】
1.一种悬空阵列碳纳米管场效应晶体管生物传感器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的悬空阵列碳纳米管场效应晶体管生物传感器的制备方法，其特征在于，在覆盖裸露的阵列碳纳米管(1)的高k介质层(5)表面沉积金纳米颗粒层(6)后，形成包覆裸露的高k介质层(5)的钝化层(7)，以对第二源极(32)、第二漏极(42)进行钝化处理。
3.根据权利要求1所述的悬空阵列碳纳米管场效应晶体管生物传感器的制备方法，其特征在于，第二源极(32)与其下方的第一源极(31)在垂直方向上对齐，第二漏极(42)与其下方的第一漏极(41)在垂直方向上对齐。
4.根据权利要求1所述的悬空阵列碳纳米管场效应晶体管生物传感器的制备方法，其特征在于，通过电子束曝光工艺对第一源极(31)、第一漏极(41)以及阵列碳纳米管(1)进行曝光处理，在经过曝光处理的裸露的第一源极(31)上方、裸露的第一漏极(41)上方以及阵列碳纳米管(1)上方的部分区域上沉积金属材料，形成二源极(32)和第二漏极(42)。
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。