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本发明涉及一种悬空阵列碳纳米管场效应晶体管生物传感器的制备方法，属于生物传感器技术领域，所述方法包括：制备阵列碳纳米管，并提供一衬底，在衬底上方的两侧位置处分别形成第一源极和第一漏极；使得阵列碳纳米管悬浮在第一源极和第一漏极之间；形成第二源...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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