【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种节距变换单元及其制造方法。
技术介绍
1、已知一种节距变换单元，具有与对检查对象的检查点授受电气信号的多个接触端子电性连接的多个接触端子侧电极、及与检查装置电性连接的多个装置侧电极，将所述多个接触端子侧电极的节距变换为所述多个装置侧电极的节距。作为此种节距变换单元，例如，如专利文献1中所公开，已知一种包括陶瓷基板、配线层及薄膜层的空间变压器。
2、所述陶瓷基板内包至少一层陶瓷基板内配线层。在所述陶瓷基板设有导电路径以贯通所述陶瓷基板内配线层。在所述陶瓷基板的一面及相反面设有连接于所述导电路径的配线层。
3、位于所述陶瓷基板的一面的所述配线层具有与探针的配置图案对应的配线图案。位于所述陶瓷基板的相反面的所述配线层经由可伸缩的单针弹簧连接器单元，与印刷电路基板连接。印刷电路基板具有可与检查机侧的试验电路连接的印刷配线。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本专利特开2019-178961号公报
技术实现思路
...【技术保护点】
1.一种节距变换单元，其具有与对检查对象的检查点授受电气信号的多个接触端子电性连接的多个接触端子侧电极、及与检查装置电性连接的多个装置侧电极，将所述多个接触端子侧电极的节距变换为所述多个装置侧电极的节距，且所述节距变换单元具有：
2.根据权利要求1所述的节距变换单元，其中
3.根据权利要求1或2所述的节距变换单元，其中
4.根据权利要求3所述的节距变换单元，其中
5.根据权利要求1至4中任一项所述的节距变换单元，其中
6.一种节距变换单元的制造方法，其为如权利要求1至5中任一项所述的节距变换单元的制造方法，<...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种节距变换单元，其具有与对检查对象的检查点授受电气信号的多个接触端子电性连接的多个接触端子侧电极、及与检查装置电性连接的多个装置侧电极，将所述多个接触端子侧电极的节距变换为所述多个装置侧电极的节距，且所述节距变换单元具有：
2.根据权利要求1所述的节距变换单元，其中
3.根据权利要求1或2...
【专利技术属性】
技术研发人员：坂井滋树，木村贺津雄，八木正展，
申请(专利权)人：尼得科精密检测科技株式会社，
类型：发明
国别省市：
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