【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种切换多个探针与检查处理部的连接关系的扫描装置及使用所述扫描装置的电气检查装置。
技术介绍
1、先前，已知有如下的扫描装置，即，在设置有接点的基体的相反侧的面，通过连接器来大致垂直地保持具有选择电路的模块基板，微计算机对选择电路进行控制，依次选择检查用接点的扫描装置(例如，参照专利文献1)。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本专利特公平7-7038号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的问题
2、且说，近年来，成为检查对象的电路基板或半导体等的微细化及电路规模的增大显著。因此，用以接触探针的检查点的数量增大。若检查点的数量增大，则扫描装置必须自更多的检查点中选择，因此选择电路的电路规模增大。若选择电路的电路规模增大，则扫描装置大型化。
3、本专利技术的目的在于提供一种不易大型化的扫描装置及电气检查装置。
4、解决问题的技术手段
5、本专利技术的一例的扫描装置搭载于电气检查装置，所述扫描装置包括：第一独立基板，为沿第一方向延伸的板状的电路基板；第一共用基板，为板状的电路基板，且与所述第一独立基板平行地配置；以及第二共用基板，为板状的电路基板，且将所述第一独立基板与所述第一共用基板电性连接，所述第一共用基板的所述第一方向上的长度较所述第一独立基板的所述第一方向上的长度长。
6、另外，本专利技术的一例的扫描装置切换与基于电气信号进行检查的检查处理部的电性连
7、另外，本专利技术的一例的电气检查装置包括所述的扫描装置。
8、专利技术的效果
9、此种结构的扫描装置及电气检查装置中，扫描装置不易大型化。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种扫描装置，搭载于电气检查装置，所述扫描装置包括：第一独立基板，为沿第一方向延伸的板状的电路基板；第一共用基板，为板状的电路基板，且与所述第一独立基板平行地配置；以及第二共用基板，为板状的电路基板，且将所述第一独立基板与所述第一共用基板电性连接，所述第一共用基板的所述第一方向上的长度较所述第一独立基板的所述第一方向上的长度长。
2.一种扫描装置，切换与基于电气信号进行检查的检查处理部的电性连接关系，所述扫描装置包括：独立基板群，其中形成为沿规定的第一方向延伸的板状的第一独立基板在与所述第一方向正交的第二方向上并列配置多个；第一共用基板，与所述独立基板群的第一独立基板中的一个并列配置；以及板状的第二共用基板，与所述多个第一独立基板的各自的端面电性连接，并且与所述第一共用基板的板状表面电性连接。
3.根据权利要求1或2所述的扫描装置，其中，所述第二共用基板的面方向沿着作为所述第一独立基板与所述第一共用基板的分离方向的第二方向及所述第一方向。
4.根据权利要求3所述的扫描装置，包括多个所述第二共用基板。
5.根据权利要求3或4所述的
6.根据权利要求3至5中任一项所述的扫描装置，还包括第二独立基板，所述第二独立基板为面方向与所述第一独立基板相同的板状的电路基板，且与所述第一独立基板的所述第一方向的一端部连接。
7.根据权利要求6所述的扫描装置，还包括为板状的电路基板且面方向与所述第一方向正交的第三共用基板，所述第二独立基板配置于所述第三共用基板与所述第一独立基板之间，所述第三共用基板与所述第二独立基板连接。
8.根据权利要求1或2所述的扫描装置，其中，所述第二共用基板的面方向与所述第一方向正交。
9.根据权利要求8所述的扫描装置，包括多个所述第二共用基板。
10.一种电气检查装置，包括如权利要求1至9中任一项所述的扫描装置。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种扫描装置，搭载于电气检查装置，所述扫描装置包括：第一独立基板，为沿第一方向延伸的板状的电路基板；第一共用基板，为板状的电路基板，且与所述第一独立基板平行地配置；以及第二共用基板，为板状的电路基板，且将所述第一独立基板与所述第一共用基板电性连接，所述第一共用基板的所述第一方向上的长度较所述第一独立基板的所述第一方向上的长度长。
2.一种扫描装置，切换与基于电气信号进行检查的检查处理部的电性连接关系，所述扫描装置包括：独立基板群，其中形成为沿规定的第一方向延伸的板状的第一独立基板在与所述第一方向正交的第二方向上并列配置多个；第一共用基板，与所述独立基板群的第一独立基板中的一个并列配置；以及板状的第二共用基板，与所述多个第一独立基板的各自的端面电性连接，并且与所述第一共用基板的板状表面电性连接。
3.根据权利要求1或2所述的扫描装置，其中，所述第二共用基板的面方向沿着作为所述第一独立基板与所述第一共用基板的分离方向的第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：椹木雅也，
申请(专利权)人：尼得科精密检测科技株式会社，
类型：发明
国别省市：
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