【技术实现步骤摘要】
本技术属于物理教学实验仪器，特别涉及一种测定薄膜折射率的分振幅干涉仪。
技术介绍
1、薄膜折射率是薄膜重要的光学性质之一，薄膜折射率的测定在薄膜制备和光学测量
具有很高的应用价值。光波在通过厚度相同的薄膜和空气时具有不同的光程，根据光波分别在薄膜和空气中传播时产生的光程差引起的干涉条纹变化，通过精确计算的方法可以实现薄膜折射率的测量。常用的薄膜折射率测试方法有白光干涉法、椭偏法以及光栅衍射干涉法。
2、中国专利申请第201810974484.8号中公开了一种“基于空间干涉的透明薄膜折射率测量装置及方法”，其存在以下不足：该装置使用光谱仪和控制与数据采集电路成本较高，且测量移动臂需要使用迈克尔逊干涉仪，光路结构实现比较复杂；中国专利申请第201810084488.9号中公开了“消除透射光的共光路自校准薄膜厚度与折射率的测量方法”，其利用驱动光程扫描装置进行两路光的光程扫描，通过解调采集信号计算得到薄膜折射率。该测量方法对两路光的光程扫描精度低，光程匹配难度大，导致薄膜折射率的计算误差较大。而常见的薄膜折射率装置普遍存在结...
【技术保护点】
1.一种测定薄膜折射率的分振幅干涉仪，其特征在于：所述测定薄膜折射率的分振幅干涉仪包括底盘(1)、半导体激光光源(2)、光衰减器(3)、光衰减器支架(4)、第一分光板底座(5)、第一分光板(6)、第一一维移动台(7)、第一反射镜(10)、刻度盘(11)、带指针旋转台(12)、样品架(13)、第二一维移动台(15)、第二反射镜(18)、第二分光板底座(19)、第二分光板(20)和光屏(22)；其中，带指针旋转台(12)设置在底盘(1)的表面中部；样品架(13)固定在带指针旋转台(12)上，用于夹持待测薄膜(14)；刻度盘(11)为环形，以与带指针旋转台(12)同轴的方式...
【技术特征摘要】
1.一种测定薄膜折射率的分振幅干涉仪，其特征在于：所述测定薄膜折射率的分振幅干涉仪包括底盘(1)、半导体激光光源(2)、光衰减器(3)、光衰减器支架(4)、第一分光板底座(5)、第一分光板(6)、第一一维移动台(7)、第一反射镜(10)、刻度盘(11)、带指针旋转台(12)、样品架(13)、第二一维移动台(15)、第二反射镜(18)、第二分光板底座(19)、第二分光板(20)和光屏(22)；其中，带指针旋转台(12)设置在底盘(1)的表面中部；样品架(13)固定在带指针旋转台(12)上，用于夹持待测薄膜(14)；刻度盘(11)为环形，以与带指针旋转台(12)同轴的方式环绕设置在带指针旋转台(12)外侧的底盘(1)上；半导体激光光源(2)、光衰减器支架(4)、第一分光板底座(5)和第一一维移动台(7)间隔设置在底盘(1)的一侧；光衰减器(3)、第一分光板(6)和第一反射镜(10)分别安装在光衰减器支架(4)、第一分光板底座(5)和第一一维移动台(7)上，并且半导体激光光源(2)、光衰减器(3)、第一分光板(6)和第一反射镜(10)的中心上下对齐；第二一维移动台(15)和第二分光板底座(19)间隔设置在底盘(1)的另一侧；第二反射镜(18)和第二分光板(20)分别安装在第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：秦哲，赫哲，李雨航，董龙甲，张航桦，
申请(专利权)人：中国民航大学，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。