【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英加工，尤其涉及一种石英槽棒自动抛光方法及装置。
技术介绍
1、石英笼舟在半导体制造过程中起着重要作用。在半导体芯片制造中，石英笼舟可用于承载和保护半导体晶圆，以防止污染和损伤。石英槽棒是组成石英笼舟的重要部件，石英槽棒在半导体领域主要起到支撑和固定晶圆的作用。石英槽棒的设计使得晶圆在加工过程中能够保持稳定，避免晶圆受到外力损伤或产生位移，从而保证半导体制造过程的精确性和稳定性。
2、目前，对于石英槽棒的火焰抛光，现有技术是将工件放置在石墨板上，靠人工手动进行火焰抛光，需要技能要求很高的技术工人才来完成作业，用人成本高，作业效率低，产品良率较低。另外，现有的抛光工艺通常采用从左至右的顺序依次对槽棒上的每个槽片进行抛光，抛光不均匀，产品一致性不好的质量问题。
3、因此，亟需一种石英槽棒自动抛光方法及装置以改善上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种石英槽棒自动抛光方法及装置，能够实现石英槽棒的自动化抛光，并提高产品良率。
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【技术保护点】
1.一种石英槽棒自动抛光方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对相邻凹槽进行间隔式的抛光包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，控制抛光枪对各个区域进行单独抛光包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述凹槽包括槽底，以及位于所述槽底相对侧的第一侧壁和第二侧壁，对单个凹槽进行自动抛光时抛光枪的移动轨迹为：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述抛光枪在自动抛光时的停留时间为0.5s，移动速度为0.5～5mm/s。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在...
【技术特征摘要】
1.一种石英槽棒自动抛光方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对相邻凹槽进行间隔式的抛光包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，控制抛光枪对各个区域进行单独抛光包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述凹槽包括槽底，以及位于所述槽底相对侧的第一侧壁和第二侧壁，对单个凹槽进行自动抛光时抛光枪的移动轨迹为：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述抛光枪在自动抛光时的停留时间为0.5s，移动速度为0.5～5mm/s。
6.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，周韦军，吕红兵，谢栋磊，边凯凯，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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