【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英半导体加工，尤其涉及一种用于圆筒型石英产品的抛光装置。
技术介绍
1、石英是重要的半导体辅材，广泛应用于半导体加工，其中石英筒是半导体制造蚀刻工艺中所用的石英法兰、石英扩散管、石英钟罩的材料。因其形状特性，对抛光技术有着超高要求，需要用火焰进行抛光来使外观达到晶透接近零瑕疵质量要求。
2、由于工艺问题，对工件抛光需要两名员工配合作业，将工件放置在石墨转台上，一位员工手持抛光火枪对产品外部进行抛光，一位员工手持抛光火枪对产品内部进行抛光，两位员工配合抛光作业。
3、此作业方式需要技能要求很高的技术工人来完成作业，用人成本高，作业效率低，并且人员手工作业，产品有抛光不均匀，产品一致性不好的质量问题，出货良品率低，并且人工作业稍不注意，就有火枪烧到对方的风险，安全性较低。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种用于圆筒型石英产品的抛光装置，能够降低用人成本，提高作业效率，并且提高圆筒型石英产品抛光后的良品率。
2、为实现上述目的，本申请提...
【技术保护点】
1.一种用于圆筒型石英产品的抛光装置，其特征在于，包括基座、旋转基台和抛光机构；
2.根据权利要求1所述的用于圆筒型石英产品的抛光装置，其特征在于，所述外抛光组件包括第一竖直移动机构和设置在所述第一竖直移动机构上的外抛光枪；
3.根据权利要求2所述的用于圆筒型石英产品的抛光装置，其特征在于，所述外抛光组件还包括第一水平移动机构，所述第一竖直移动机构设置在所述第一水平移动机构上，所述第一水平移动机构用于带动所述第一竖直移动机构水平移动。
4.根据权利要求2所述的用于圆筒型石英产品的抛光装置，其特征在于，所述外抛光枪的加热端为沿着所述圆...
【技术特征摘要】
1.一种用于圆筒型石英产品的抛光装置，其特征在于，包括基座、旋转基台和抛光机构；
2.根据权利要求1所述的用于圆筒型石英产品的抛光装置，其特征在于，所述外抛光组件包括第一竖直移动机构和设置在所述第一竖直移动机构上的外抛光枪；
3.根据权利要求2所述的用于圆筒型石英产品的抛光装置，其特征在于，所述外抛光组件还包括第一水平移动机构，所述第一竖直移动机构设置在所述第一水平移动机构上，所述第一水平移动机构用于带动所述第一竖直移动机构水平移动。
4.根据权利要求2所述的用于圆筒型石英产品的抛光装置，其特征在于，所述外抛光枪的加热端为沿着所述圆筒型石英产品轴向设置的直外管，所述直外管朝向所述圆筒型石英产品外侧壁的一侧设置有多个间隔分布的外喷管。
5.根据权利要求4所述的用于圆筒型石英产品的抛光装置，其特征在于，所述外喷管上设置有环形外管，所述环形外管可套设于所述圆筒型石英产品，所述环形外管的内圈均匀设置有多个外喷嘴，并且多个所述外喷嘴在同一水平面上，并可朝向所述圆筒型石英产品的外侧壁。
6.根据权利要求1所述的用于圆筒型石英产品的抛光装置，其特征在于，所述内抛光组件包括第二竖直移动机构和设置在所述第二竖直移动机构上的内抛...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文华，周韦军，吕红兵，金盛杰，朱佳琪，
申请(专利权)人：上海强华实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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