一种基于三维空间的晶圆传送系统技术方案

本发明专利技术公开了一种基于三维空间的晶圆传送系统，系统包括数据存储模块、位置采集模块、晶圆传送模块及晶圆传送控制模块；所述数据存储模块用于对晶圆传送过程中产生的数据进行存储；所述位置采集模块用于对晶圆的位置进行采集；所述晶圆传送模块用于对晶圆进行传送；所述晶圆传送控制模块，用于根据晶圆传送参数控制所述晶圆传送模块，实现晶圆传送。本发明专利技术实施例实现三维空间晶圆自动引导功能，达到简化部署进而提供大量数据支撑平台的应用，再进一步可进行功能测试，实现性能优化，减少了晶圆传送成本，减少了维护成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及计算机，尤其涉及一种基于三维空间的晶圆传送系统。

技术介绍

1、晶圆自动化生产产业中，三维空间的晶圆传送位置自动引导方法，作为解决“晶圆”的三维空间自动引导传送关键技术，具有广泛的用途，在晶圆生产中承担重要的一环。

2、现有技术中晶圆传送系统中有以下几个缺点：

3、1.硬件多，增加成本。在三维空间的晶圆传送位置自动引导软件平台的开发过程，以及开发完之后平台解决方案的维护、展示和宣传都需要机器关节和视觉设备的数据支持。意味着一旦缺少机器关节及视觉设备的数据，就会耽误开发、测试进度和展示效果不佳的问题。若是由厂商需要提供相关硬件，则用户就要承担一定的硬件成本。

4、2.现有的基于空间的晶圆传送系统接入环境复杂，布线难度大。工作站功能应用多，布线难度加大，需要更多的成本。同一工作站应用多种操作软件，操作复杂。

5、综上所述，现有技术中的晶圆传送系统技术存在开发成本过高，对安装环境要求较大，维护成本大的问题。

6、因此现有技术还有待于进一步发展。

<b>技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种基于三维空间的晶圆传送系统，其特征在于，系统包括数据存储模块、位置采集模块、晶圆传送模块及晶圆传送控制模块；

2.根据权利要求1所述的基于三维空间的晶圆传送系统，其特征在于，所述系统还包括通信模块，

3.根据权利要求2所述的基于三维空间的晶圆传送系统，其特征在于，所述系统还包括人机界面，

4.根据权利要求3所述的基于三维空间的晶圆传送系统，其特征在于，所述系统还包括调度管理模块，

5.根据权利要求4所述的基于三维空间的晶圆传送系统，其特征在于，所述数据存储模块包括IP通讯配置单元、晶圆传送控制信号存储单元和数据缓存单元，

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【技术特征摘要】

1.一种基于三维空间的晶圆传送系统，其特征在于，系统包括数据存储模块、位置采集模块、晶圆传送模块及晶圆传送控制模块；

2.根据权利要求1所述的基于三维空间的晶圆传送系统，其特征在于，所述系统还包括通信模块，

3.根据权利要求2所述的基于三维空间的晶圆传送系统，其特征在于，所述系统还包括人机界面，

4.根据权利要求3所述的基于三维空间的晶圆传送系统，其特征在于，所述系统还包括调度管理模块，

5.根据权利要求4所述的基于三维空间的晶圆传送系统，其特征在于，所述数据存储模块包括ip通讯配置单元、晶圆传送控制信号存储单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：王洋洋，武永康，谢世武，
申请(专利权)人：苏州苏优信立智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：

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