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本发明公开了一种基于三维空间的晶圆传送系统，系统包括数据存储模块、位置采集模块、晶圆传送模块及晶圆传送控制模块；所述数据存储模块用于对晶圆传送过程中产生的数据进行存储；所述位置采集模块用于对晶圆的位置进行采集；所述晶圆传送模块用于对晶圆进行...
该专利属于苏州苏优信立智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州苏优信立智能科技有限公司授权不得商用。

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