一种用于1350℃高温氧化炉加热炉体制造技术

本发明专利技术适用于高温氧化炉领域，提供了一种用于1350℃高温氧化炉加热炉体，包括炉体底板，炉体底板的顶部安装有水冷隔热底板，水冷隔热底板的顶部安装有强固高温把口环，强固高温把口环的顶部安装有炉丝固定层，强固高温把口环与水冷隔热底板通过不锈钢环套相互连接；炉丝固定层内部中空且安装有四层U型炉丝；U型炉丝在炉丝固定层内部安装有4层，且每层均包含两个U型炉丝；炉丝固定层外部固定连接有水冷包裹层；炉丝固定层的顶部安装有顶部隔热盖；炉丝固定层内部安装有热偶检测点。借此，本技术方案对加热炉丝进行点位排布，使炉内温度达到1350℃，有效温区长度提升至690mm，工艺制程最大投片数量提升至100片，产能得到了大幅提升。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术适用于高温氧化炉领域，提供了一种用于1350℃高温氧化炉加热炉体。

技术介绍

1、高温氧化炉是一种用于进行高温氧化处理的设备。通常采用电加热或燃烧加热的方式，将物体加热至高温状态，然后在氧气环境中进行氧化反应。高温氧化炉主要用于工业生产中的氧化处理，可以用于材料的表面处理、烧结、热处理、氧化反应等。常见的应用包括金属材料的氧化处理、粉末材料的烧结、陶瓷材料的热处理等。

2、目前国内第三代碳化硅衬底晶圆依靠国外进口设备能实现高温氧化功能，温度1350℃，有效温区长度238mm，工艺制程最大投片数量25片。而国内常规加热器最大加热温度仅为1150℃，在性能方面无法赶超国外同类设备。

技术实现思路

1、针对上述的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种用于1350℃高温氧化炉加热炉体，目的是为了解决
技术介绍
中提出的问题，装置包括炉体底板，所述炉体底板的顶部安装有水冷隔热底板，所述水冷隔热底板的顶部安装有强固高温把口环，所述强固高温把口环的顶部安装有炉丝固定层，所述强固高温把口环与水冷隔热底板通过不锈本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于1350℃高温氧化炉加热炉体，其特征在于，包括炉体底板（1），所述炉体底板（1）的顶部安装有水冷隔热底板（2），所述水冷隔热底板（2）的顶部安装有强固高温把口环（3），所述强固高温把口环（3）的顶部安装有炉丝固定层（4），所述强固高温把口环（3）与水冷隔热底板（2）通过不锈钢环套（21）相互连接；所述炉丝固定层（4）内部中空且安装有四层U型炉丝（8），且每层均包含两个所述U型炉丝（8）；所述炉丝固定层（4）外部固定连接有水冷包裹层（7）；所述炉丝固定层（4）的顶部安装有顶部隔热盖（9）；所述炉丝固定层（4）内部安装有热偶检测点（6）。

2.根据权利要求1所述的用于...

【技术特征摘要】

1.一种用于1350℃高温氧化炉加热炉体，其特征在于，包括炉体底板（1），所述炉体底板（1）的顶部安装有水冷隔热底板（2），所述水冷隔热底板（2）的顶部安装有强固高温把口环（3），所述强固高温把口环（3）的顶部安装有炉丝固定层（4），所述强固高温把口环（3）与水冷隔热底板（2）通过不锈钢环套（21）相互连接；所述炉丝固定层（4）内部中空且安装有四层u型炉丝（8），且每层均包含两个所述u型炉丝（8）；所述炉丝固定层（4）外部固定连接有水冷包裹层（7）；所述炉丝固定层（4）的顶部安装有顶部隔热盖（9）；所述炉丝固定层（4）内部安装有热偶检测点（6）。

2.根据权利要求1所述的用于1350℃高温氧化炉加热炉体，其特征在于，所述水冷隔热底板（2）的内部设有水冷通道。

3.根据权利要求1所述的用于1350℃高温氧化炉加热炉体，其特征在于，所述不锈钢环套（21）套接在水冷隔热底板（2）的外部，所述强固高温把口环（3）套接在不锈钢环套（21）内部；所述炉体底板（1）的顶面高度高于水冷隔热底板（2）的顶面高度。

4.根据权利要求1所述的用于1350℃高温氧化炉加热炉体，其特征在于，所述炉丝固定层（4）上设有炉丝固定孔（5），所...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡宗捷，朱滨泉，苏新巍，
申请(专利权)人：潍坊芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：