一种立式扩散炉晶体加载装置制造方法及图纸

本技术提供一种立式扩散炉晶体加载装置，涉及晶体生产加工技术领域，包括扩散炉主体，所述扩散炉主体的一侧设置有自动送料组件，所述自动送料组件包括送料框架和入料口，所述送料框架连接在扩散炉主体的一侧，所述扩散炉主体靠近送料框架的一侧开设有四组入料口，所述送料框架的一侧外表面设置有电机，所述电机的输出端连接有单向螺杆，在需要将晶体送入扩散炉主体内进行加工时，可以将四组晶体分别放入四组送料板内，之后再通过电机推动推板向扩散炉主体方向进行移动，并带动四组送料板全部插入入料口后，之后再通过电动推杆推动晶体进如扩散炉主体内，从而完成对晶体的加工送料，提高扩散炉主体的工作效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体生产加工，尤其涉及一种立式扩散炉晶体加载装置。

技术介绍

1、扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，主要用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

2、现有的，公开号：cn204957758u，一种应用于氧化扩散炉的上料送片装置。该装置包括a升降导轨、a升降导轨基板、平移电机、平移导轨、桨、平移电机支架、b升降导轨基板、b升降导轨、升降电机支架、升降电机、平移导轨滑块、升降丝杠螺母、平移导轨基板、升降导轨滑块、升降丝杠、平移丝杠螺母和平移丝杠。本设计采用单桨对多炉的炉体上料送片技术，利用plc通过两个伺服电机分别控制载着硅片的桨进行y轴的升降及x轴的水平运动，使其根据对应的工艺到达不同的炉口高度位置后，将桨推进炉内完成送片。该设计提高了氧化扩散炉设备上料送片的自动化水平；解决了上料送片过程中人工操作所遇到的问题；提高了工作效率。

3、该专利可以实现自动上料，但是在进行上料的过程中，每次只能上一组料，无法实现一次上多组料，降低了扩散炉的工作效率，实用性有待提高。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决每次只能上一组料，无法实现一次上多组料，降低了扩散炉的工作效率，而提出的一种立式扩散炉晶体加载装置。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种立式扩散炉晶体加载装置，包括扩散炉主体，所述扩散炉主体的一侧设置有自动送料组件，所述自动送料组件包括送料框架和入料口，所述送料框架连接在扩散炉主体的一侧，所述扩散炉主体靠近送料框架的一侧开设有四组入料口，所述送料框架的一侧外表面设置有电机，所述电机的输出端连接有单向螺杆，所述单向螺杆的一端设置有轴承，所述单向螺杆的表面设置有推板，所述推板的内部贯穿开设有螺纹孔，所述推板的上下端均设置有滑块，所述送料框架的上下端内壁均开设有滑槽，所述推板靠近入料口的一侧设置有四组送料板，所述送料板的底部设置有支撑架，所述送料板的表面一侧连接有固定块，所述固定块的内部开设有槽口，所述槽口的内部设置有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定连接有推料板，所述固定块的一侧外表面设置有冷风扇。

3、优选的，所述电机通过控制开关与外部电源电性连接，所述电机的输出端贯穿送料框架后与单向螺杆之件构成固定连接。

4、优选的，所述单向螺杆与轴承之间构成转动连接，所述推板通过螺纹孔与单向螺杆之间构成螺纹连接。

5、优选的，所述推板通过滑块与滑槽之间构成滑动连接，所述滑块的外表面与滑槽的内表壁相贴合。

6、优选的，所述扩散炉主体的一侧顶部设置有换气组件，所述换气组件包括出气口和换气架，所述出气口开设在扩散炉主体的一侧顶部。

7、优选的，所述出气口的正上端设置有换气架，所述换气架的内部开设有卡槽，所述卡槽的内部设置有隔温板，所述换气架的顶部固定连接有排风扇。

8、优选的，所述隔温板的位置及大小与卡槽的位置及大小相匹配，所述隔温板通过卡槽与换气架之间构成滑动连接。

9、与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，

10、1、本技术，在需要将晶体送入扩散炉主体内进行加工时，可以将四组晶体分别放入四组送料板内，之后再通过电机推动推板向扩散炉主体方向进行移动，并带动四组送料板全部插入入料口后，之后再通过电动推杆推动晶体进如扩散炉主体内，从而完成对晶体的加工送料，提高扩散炉主体的工作效率。

11、2、本技术，通过在对晶体加工完毕后，扩散炉主体内温度需要进行降温时，可以将隔温板从卡槽内抽出，之后再开启冷风扇将扩散炉主体内的高温排出，实现对扩散炉主体的快速降温，避免了操作人员打开扩散炉主体取出晶体时容易被高温烫伤的问题，提高了操作人员操作扩散炉主体取料时的安全性。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种立式扩散炉晶体加载装置，包括扩散炉主体（1），其特征在于：所述扩散炉主体（1）的一侧设置有自动送料组件（2）；

2.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉晶体加载装置，其特征在于：所述电机（203）通过控制开关与外部电源电性连接，所述电机（203）的输出端贯穿送料框架（201）后与单向螺杆（204）之件构成固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种立式扩散炉晶体加载装置，其特征在于：所述单向螺杆（204）与轴承（205）之间构成转动连接，所述推板（206）通过螺纹孔（207）与单向螺杆（204）之间构成螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种立式扩散炉晶体加载装置，其特征在于：所述推板（206）通过滑块（208）与滑槽（209）之间构成滑动连接，所述滑块（208）的外表面与滑槽（209）的内表壁相贴合。

5.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉晶体加载装置，其特征在于：所述扩散炉主体（1）的一侧顶部设置有换气组件（3），所述换气组件（3）包括出气口（301）和换气架（302），所述出气口（301）开设在扩散炉主体（1）的一侧顶部。</p>

6.根据权利要求5所述的一种立式扩散炉晶体加载装置，其特征在于：所述出气口（301）的正上端设置有换气架（302），所述换气架（302）的内部开设有卡槽（303），所述卡槽（303）的内部设置有隔温板（304），所述换气架（302）的顶部固定连接有排风扇（305）。

7.根据权利要求6所述的一种立式扩散炉晶体加载装置，其特征在于：所述隔温板（304）的位置及大小与卡槽（303）的位置及大小相匹配，所述隔温板（304）通过卡槽（303）与换气架（302）之间构成滑动连接。

...

【技术特征摘要】

1.一种立式扩散炉晶体加载装置，包括扩散炉主体（1），其特征在于：所述扩散炉主体（1）的一侧设置有自动送料组件（2）；

2.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉晶体加载装置，其特征在于：所述电机（203）通过控制开关与外部电源电性连接，所述电机（203）的输出端贯穿送料框架（201）后与单向螺杆（204）之件构成固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种立式扩散炉晶体加载装置，其特征在于：所述单向螺杆（204）与轴承（205）之间构成转动连接，所述推板（206）通过螺纹孔（207）与单向螺杆（204）之间构成螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种立式扩散炉晶体加载装置，其特征在于：所述推板（206）通过滑块（208）与滑槽（209）之间构成滑动连接，所述滑块（208）的外表面与滑槽（209）的内表壁相贴...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡宗捷，朱滨泉，苏新巍，
申请(专利权)人：潍坊芯微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：